最小起订量:1 计量单位:台 产品单价:3800.00 供货总量:1000
腐蚀性气体质量流量计气体配比器,
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下,CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造,尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字,模拟输入输出。
• 产品支持RS485,DeviceNet通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
气体配比器 主要用于气体流量测试,并按比例混合气体,为真空管式炉或手套箱营造特定要求的气氛环境. 控制方式采用集成化模块控制 功能延伸性强 根据客户要求随意添加该气体配比器可以外接两种或多种气体,采用质子型流量计,气路管道采用316抛光管制作耐腐蚀性强.气路接头采用全不锈钢双卡套快速接头,方便连接且不易泄漏。
产品型号
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KT-C3Z
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产品类型
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高精度型/快速响应型/智能控制/触摸屏控制
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可选量程
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20sccm-30slm(气体量程根据客户需要可选)
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产品精度
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高精度型±1%F.S
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普通型±1%F.S
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重复精度
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高精度型±0.2% F.S
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普通型±0.2% F.S
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线性
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高精度型±0.5% F.S.
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普通型±1% F.S.
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响应时间
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高精度型≤2sec
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普通型≤4sec
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工作温度范围
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(5~45)°C
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供电电源
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~85-265VAC 50/60Hz
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功耗
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40W
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进气口压
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≤0.6MPa
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连接管道
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316不锈钢管道
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截止阀类型
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电磁阀
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单向阀开启压力
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0.02Mpa
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压力显示量程
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0-0.6Mpa
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控制方式
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7寸触摸屏智能调节
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时间设定
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0-32000分钟
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清洗功能
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一键清洗
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程序控制
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5段可编程序(时间-流量随意设定值)
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压力显示
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有(出气压力检测)
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气体混合罐
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有
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气体加热
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无(可选配气体混合罐加热,加热温度室温-350℃可调)
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流量累计
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有(累计当前运行总流量)
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可选进出气口接头形式
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3mm,6mm,1/8mm,1/4mm双卡套接头
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抗电磁干扰
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有
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外形尺寸
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460X210X480
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重量
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18KG
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