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KT-0904T-RL精巧型真空腔体测试腔主要用于气体敏感材料或其他对环境敏感性材料中的电信号测试。测试腔体内部装有不锈钢加热承载台，台面可升温到高温400℃。台面四周装有微型3轴可移动钨钢探针，特别适合微小未封装的叉指电极等传感器测试。

该腔体设计有进气口和抽真空接口其真空度用机械泵可达＜5Pa分子泵可达＜-3Pa。真空信号连接处使用真空电极信号接头，保证气密性及抗干扰性能。使用时将需将待检测的器件方在加热台面，探针尖处由3轴可移动探针手动调节移动至被测试器件的引脚处，外部信号线连接测试仪器来测试电学信号。

 技术参数； 真空腔体 型号 KT-0904T-RL加热制冷 KT-0904T-R加热 KT-0904T制冷 类型 加热型350℃ 或者加热制冷型 室温到350℃ 室温到-190℃ 腔体材质 304不锈钢 腔体内尺寸 φ90x40mm 腔体上视窗尺寸 Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm） 腔体抽气口 KF16 腔体进气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体出气口 公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选 腔体正压 ≤0.05MPa 腔体真空度 机械泵≤5Pa （5分钟） 分子泵≤5E-3Pa（30分钟） 

一种低温探针台及其测试腔组件 本实用新型涉及一种低温探针台及其测试腔组件,测试腔组件包括外壳和外壳上盖板,外壳和外壳上盖板形成测试腔,外壳上盖板上设置有用于供显微镜观察的观察窗,测试腔内设置有供测试件放置的载物台和探针,该测试腔组件还包括用于对载物台进行降温的半导体制冷器,半导体制冷器的冷端与载物台接触以对载物台及其上的测试件进行降温处理。在测试时,将测试件放置于测试腔中的载物台上,通过半导体制冷器对载物台进行降温,进而对载物台上的待测试件进行降温,能够研究半导体等材料在低温条件下的性能测试。 

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