滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，最复杂、最耗时间的量测项目。泄漏测试的目的，是要确认：1.滤网的材料无破损，2.滤纸与边框接合妥当， 3.安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保xx无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤网本身无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框与钢架接合处漏进无尘室。就算是FFU系统，天花板上相对于无尘室是负压，微粒仍旧会因为气流移动产生微小乱流而漏进无尘室。因此，边框扫描属{jd1}必要。

滤网泄漏测试基本上是把验证微粒施放在滤网上游，然后在滤网表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有：1.气胶亮度计测试法，2. 微粒计数器测试法， 3.xx率测试法， 4.外气测试法，说明如下。

一、气胶亮度计测试法

1. 说明

气胶亮度计测试法是最早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶亮度计（Aerosol Photometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，输出的信号是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP 是一种油性化学物质，加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

泄漏的定义是泄漏出上游浓度万分之一，由于气胶亮度计可以直接显示上下游微粒浓度的比值，因此扫描滤网非常方便。也正因其准确、可靠，美国食品与药品管制局（FDA）规定，在其管辖范围内（食品加工场所与医疗制药场所），所有的滤网泄漏测试必须使用DOP与气胶亮度计。近年来由于人们怀疑DOP会导致癌症，因此多改用PAO 。PAO 和DOP 的特性类似，使用上无多大差异。

2. 测试仪器

本测试法使用仪器为气胶亮度计（AerosolPhotometer）与微粒产生器（Aerosol Generator）。气胶亮度计的显示版有模拟与数字两种，每年必须校正一次。微粒产生器有两种，一种是普通的微粒产生器，另一种是加热型微粒产生器，微粒产生器不需要校正。

3. 测试程序

滤网泄漏测试的步骤，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下。

1.在图面上记录滤网数量并编号。

2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。

3.使用气胶产生器在上游施放验证微粒，将PAO 打入滤网上游，微粒浓度是大约每公升空气含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超过50 微克以后差别不大，少于10 则很难使用。微粒浓度可用风量粗略计算，再用气胶亮度计确认。

4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑胶帘覆盖以确保测试之准确。

5.在滤网表面扫描，扫描之路径可由外而内或沿长/ 短边迂回检测，其方式如下：

a. 每一滤网和其边框均需测试。

b. 滤网之表面时，将探漏器摆设如图(b)，用短边方向前进，覆盖全滤网

c. 扫描滤网边框时，尤其滤网与Ceiling Grid之间，探漏器摆设可以如上图（a）或图（b），涵盖全部接缝。

d. 利用微粒计数器之方锥形(10mm*60mm)采样器置于滤网下25mm左右，以50mm/sec速度仪动。

e. 气胶亮度计上的读数是上下游百分比值，因此若是数值大于0.01 ，即可怀疑为泄漏，可退回约100mm 反复再测，如果没有持续高读数，则可继续测试，反之即为有泄漏，需作记录且日后修补或更换。

6.滤网若有破损则应修补或更新，然后重新再测。

7.边框若有泄漏，应重新安装、调整，直到无泄漏为止。

8.记录时必须登记扫描结果，泄漏状况与处理方式。

4. 验收基准

1.凡是连续性读值超过0.01 ﹪视为泄漏，每一片滤网测试及修换后均不得有泄漏，边框也不得有泄漏。

2.每一片滤网的修补面积不得大于滤网面积的3 。

3.任何修补长度不得大于38㎜（1.5 英吋）。

二、微粒计数器测试法

1. 说明

半导体业方面，早期也是使用DOP/气胶光度计测试泄漏，但是随着制造精密度增加，油性验证微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成验证微粒。经过科学家多年之研究结果，发现PSL 这种材料所产生的微粒，因为粒径与浓度可以控制，因此是目前最广为使用的验证微粒。

使用干式微粒的基本概念与xx相同，使用时将PSL 溶液雾化，导入滤网上游，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找可能的泄漏。

2. 测试仪器微粒计数器测试法使用仪器是微粒计数器、微粒稀释器与微粒产生器，微粒计数器每一年要校正一次，微粒稀释器与微粒产生器不用校正，但是微粒稀释器要定期保养以免阻塞。

3. 测试方式

测试步骤与气胶法相同，大致上是施放微粒并检查浓度、滤网与边框扫描以发现泄漏、更换或修补、重测，其步骤说明如下。

1.在图面上记录滤网数量并编号。

2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。

3.使用微粒产生器在上游施放验证微粒，将雾化PSL 打入滤网上游，同时使用微粒计数器监视上游的微粒浓度，使微粒浓度达到每立方英尺至少有80 万颗微粒，并且维持该浓度直到扫描完毕为止。为保护微粒计数器，一般会加装微粒稀释器在验证上游浓度的微粒计数器上。

4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，寻找泄漏，必要时滤网四周可用塑胶帘覆盖以确保测试之准确。扫描时探漏器离滤网的距离是25㎜。

5.微粒计数器测试法的扫描速度，是一个上游浓度的函数，不是一个定值，其计算公式如下：

SR：扫描速率

CC：上游浓度

LS：泄漏定义，如0.01 ﹪

FS：流量，一般是 1 cfm

DP：探漏器尺寸，沿移动方向

NP：代表泄漏颗粒数

6.由上式可看出，上游浓度愈高，扫描可以愈快。扫描的方式与气胶亮度计法相同（请参阅图1 ，扫描路径），路径可由外而内或沿长/ 短边迂回检测。

7.滤网若有破损则应修补或更新，然后重新再测。8.边框若有泄漏，应重新安装、调整，直到无泄漏为止。

9.记录时必须登记扫描结果，泄漏状况与处理方式。

4. 验收基准

1.凡是连续性读值超过0.01 ﹪视为泄漏，每一片滤网测试及修换后均不得有泄漏，边框也不得有泄漏。

2.每一片滤网的修补面积不得大于滤网面积的3 ﹪。

3.任何修补长度不得大于38㎜（1.5 英吋）。

三、xx率测试法

1.说明在某些场所如袋进袋出滤网系统（Bag-in-Bag-out Filtration System），或是滤网位于风管中段（医院空调常用，）上游可施放微粒但下游无法扫描，就必须使用xx率测试法。xx率测试法是因为在下游无法扫描，仅能抽取一些空气样本做分析比较，若是下游微粒含量超过某定值则判定为泄漏，整片滤网要更换。这种测试方法的准确度并不高，因此泄漏的定义值一般要取低一些以增加准度，例如认定上游的0.005 ﹪或0.001 ﹪为泄漏。

2. 测试仪器

xx率测试法可应用在不同场所，只要和FDA有关，就必须使用气胶亮度计，和半导体有关，就必须使用微粒计数器。

图1 扫描路径

3. 测试方式xx率法的测试步骤基本上也是上游施放验证粒子，下游抽气检验，以决定其总体性能表现。其测试步骤如下。

1.在图面上记录滤网数量并编号。

2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕，并且经业主认定为合格。

3.使用气胶产生器或微粒产生器在上游施放验证微粒，使微粒浓度达到与维持在规定值。施放时须注意验证微粒的均匀度。

4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网下游抽气，检查浓度。抽气位置要尽量向后延伸，让泄漏出的微粒与干净空气xx混合。

5.若是下游浓度超过设定值则判定为泄漏，需要检查系统，排除泄漏。

4. 验收基准

由于xx率测试法并非全面积扫描，也没有边框的问题，因此只能规定有泄漏就得检查全部系统以排除泄漏，若是认定泄漏出于滤网，就必须换新，不能修补。

四、外气测试法

1. 说明

外气测试法是用来测试空调箱里面的高效滤网时使用，因为该滤网直接吸入外气，因此就利用外气当成验证微粒，在滤网表面直接搜寻泄漏。由于外气粒子含量不稳定，因此这种测试法较不可靠，不能当成前述使用验证微粒测试的代用方式。

2. 测试仪器

外气测试法大部份用在空调箱，使用仪器取决于主系统，只要和FDA有关，就必须使用气胶亮度计，和半导体有关，就必须使用微粒计数器。

3. 测试方式外气测试法的测试步骤如下。

1.在图面上记录滤网数量并编号。

2.确定空调系统正常运转并可供测试，风速与风量必需调整平衡完毕。

3.使用气胶亮度计或微粒计数器测试上游微粒浓度。

4.上游微粒浓度确认后，就可以在滤网表面扫描，检查泄漏。扫描方式依不同仪器而异，请参考{dy}、二节。

5.发现泄漏，则要需要修补或更换滤网。

6. 边框部份也要扫描。

4. 验收基准

1. 凡是连续性读值超过0.01﹪视为泄漏，每一片滤网测试及修换后均不得有泄漏，边框也不得有泄漏。

2. 每一片滤网的修补面积不得大于滤网面积的3 ﹪。

3. 任何修补长度不得大于38㎜（1.5英吋）。

五、结论

滤网的泄漏测试，在外国已有多年的历史，我国半导体业和生化业现在所存在的观念、思考方式与做法，在外国早期都已经历过。国外的业者经过长久研究发现，若是不使用验证微粒，就无法找到滤网泄漏。而国内的半导体产业，目前还停留在【验证微粒会损坏滤网，因此不可使用验证微粒】的迷思阶段。也因为如此，国内滤网的泄漏测试很难得找到泄漏，也找不到修补滤网的专家。

时下有一些单位在提供滤网泄漏测试服务时，xx不使用验证微粒，只用微粒计数器在滤网表面扫描，并且宣称这是外气测试法，这是不对的。所谓外气测试法在测试时，还是有使用到验证微粒，只是以外气当成验证微粒。试想在无尘室空调系统中，经过空调箱的空气已有过滤，室内循环量又这么大，所有外气带入的微粒早就滤光了，怎么还能做验证？而且居然还能算出每秒5 公分的测试头移动速率？知识贫乏的程度令人梀目心惊

在半导体产业，滤网泄漏会造成良率降低，但是在生化业与医疗场所，滤网泄漏所造成的是人的健康或生命的损失，因此不可以等闲视之。尤其台湾人口密度高居世界第二位，传染病流行得特别快，医疗防护需特别重视。我们建议，在生化医疗产业与场所，滤网都必须依照规范，使用验证微粒仔细检验，以确保民众的健康与生命安全。