用于PVD的氮化硼
BN是一种用于PVD绝缘器和电弧罩的理想材料,具有以下优点:
极好的电绝缘特性——高的绝缘性,低的介电常数,高的体积电阻率
用于真空应用的高纯度
易于加工
惰性及化学稳定性
GE可提供几种级别的热压BN和适用于PVD应用的BN合成物。
新Grade BIN77 特别为PVD应用设计,这种BN/AlN合成物耐用、寿命长。氮化铝可提供抗磨性,适用于绝缘器的清洁,并且钙稳定粘合剂系统可提供抗潮湿、抗散裂及裂化。
Grade HBC – 高纯度,无粘结剂并具有极强的抗潮湿性,在极高温度或超高真空条件下都具有极好的性能。
Grade HBT – 这种无粘结剂级别的产品具有较低密度,因此比HBC强度高,但在某些应用可能更经济。
Grade HBR –一种钙稳定的热压BN,这种标准级别的产品也可抗潮湿,并且比无粘结剂级别的更强
GE先进陶瓷可提供用于热压的BN,和用于PVD及真空处理应用的BN化合物,现在拥有300,000平方英尺的厂房,加工能力可满足你的特殊要求。
典型特性比较
|
等级 |
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粘结剂 密度(g/cc) |
HBR 硼酸钙 2.00 |
HBT 无 1.75 |
HBC 无 1.95 |
BIN77 硼酸钙 2.43 |
||||
承压方向 |
II ⊥ II ⊥ II ⊥ II ⊥ |
|||||||
抗弯强度(psi x 103) |
|
|||||||
@ 25° C |
25° |
C |
7.5 |
6 |
2.8 |
2.5 |
3 |
2.5 |
@ 1500° C |
3.1 |
2.7 |
3.5 |
2.7 |
7 |
4 |
3.6 |
4.7 |
弹性模量(psi x 106) |
9 |
7 |
6 |
3 |
7 |
3 |
5 |
7 |
CTE (ppm/K) 25到 1500° C |
3 |
4 |
0.1 |
0.3 |
0.4 |
0.8 |
5.4 |
5.6 |
热传导率W/m-K@25° C |
55 |
33 |
22 |
19 |
28 |
23 |
29 |
40 |
电性特征 |
|
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|
绝缘性(V/mm x 103) |
53
4.2 4.3 4.1 |
34
3.9 3.9 3.8 |
54
4.1 4.3 4.1 |
43
6.2 5.9 6.4 |
||||
绝缘系数 |
||||||||
@ 1 GHz |
||||||||
@ 9.3 GHz |
||||||||
@ 1 MHz |
||||||||
体积电阻率 |
||||||||
@ 25° C (ohm-cm) |
>1015 |
>1015 |
>1015 |
>1015 |
||||
@ 700° C (ohm-cm) |
1 x 108 |
1 x 1010 |
1 x 1010 |
7.4 x 106 |
关于GE热压BN产品的更多详细资料见GE先进陶瓷出版物81507(热压BN成型)
GE也提供BN涂料,是用于排气、难熔物质和PVD加工润滑的理想材料。更多详细资料见GE先进陶瓷出版物81509(BN涂料)。