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用于PVD的氮化硼

BN是一种用于PVD绝缘器和电弧罩的理想材料,具有以下优点:

极好的电绝缘特性——高的绝缘性,低的介电常数,高的体积电阻率

用于真空应用的高纯度

易于加工

惰性及化学稳定性

GE可提供几种级别的热压BN和适用于PVD应用的BN合成物。

 

Grade BIN77 特别为PVD应用设计,这种BN/AlN合成物耐用、寿命长。氮化铝可提供抗磨性,适用于绝缘器的清洁,并且钙稳定粘合剂系统可提供抗潮湿、抗散裂及裂化。

Grade HBC – 高纯度,无粘结剂并具有极强的抗潮湿性,在极高温度或超高真空条件下都具有极好的性能。

Grade HBT – 这种无粘结剂级别的产品具有较低密度,因此比HBC强度高,但在某些应用可能更经济。

Grade HBR –一种钙稳定的热压BN,这种标准级别的产品也可抗潮湿,并且比无粘结剂级别的更强

GE先进陶瓷可提供用于热压的BN,和用于PVD及真空处理应用的BN化合物,现在拥有300,000平方英尺的厂房,加工能力可满足你的特殊要求。

典型特性比较

 

等级

 

粘结剂

密度(g/cc)

HBR

硼酸钙

2.00

HBT

1.75

HBC

1.95

BIN77

硼酸钙

2.43

承压方向

II      ⊥        II      ⊥           II       ⊥        II     ⊥

抗弯强度(psi x 103)

 

@ 25° C

25°

C

7.5

6

2.8

2.5

3

2.5

@ 1500° C

3.1

2.7

3.5

2.7

7

4

3.6

4.7

弹性模量(psi x 106)

9

7

6

3

7

3

5

7

CTE (ppm/K)

25到 1500° C

3

4

0.1

0.3

0.4

0.8

5.4

5.6

热传导率W/m-K@25° C

55

33

22

19

28

23

29

40

电性特征

 

 

 

 

 

 

 

 

绝缘性(V/mm x 103)

53

 

 

4.2

4.3

4.1

34

 

 

3.9

3.9

3.8

54

 

 

4.1

4.3

4.1

43

 

 

6.2

5.9

6.4

绝缘系数

@ 1 GHz

@ 9.3 GHz

@ 1 MHz

体积电阻率

@ 25° C (ohm-cm)

>1015

>1015

>1015

>1015

@ 700° C (ohm-cm)

1 x 108

1 x 1010

1 x 1010

7.4 x 106

关于GE热压BN产品的更多详细资料见GE先进陶瓷出版物81507(热压BN成型)

GE也提供BN涂料,是用于排气、难熔物质和PVD加工润滑的理想材料。更多详细资料见GE先进陶瓷出版物81509(BN涂料)。



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