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用于表面分析的XPS技术
X射线光电子能谱（XPS）是一种分析技术，通过将软性X射线投射到表面上，然后检测从表面数纳米深度的范围辐射出来的光电子能量，以此估算材料表面的元素组成和元素化学形态。
检测到的光电子能量与特种元素相对应，且由化学结合决定，反映化学位移。使用X射线作为激发源，XPS也可用于分析绝缘体。
XPS是一种用于众多类型样品的材料开发和表面检测的有效分析工具，包括金属、半导体、高聚物和先进材料。
JPS-9010具有三种型号，可满足不同的研究目标和要求。JPS-9010MC（带单色X射线源）、JPS-9010MX和JPS-9010TR采用了X射线全反射光电子能谱(TRXPS)技术，是{zx0}采用这一技术的仪器之一。
- 高精度的能量分析仪
- 采用X射线源，对样品的损坏减少至最小程度
- 小体积的X射线单色仪
- 超纯净真空系统；烘烤简易
- 多功能自动分析，支持常规分析
- 大样品台，可容纳大样品（如硬盘）
- 简易使用软件
- 快速分峰软件
JPS-9010系列规格
灵敏度和分辨率
* 使用MgKa 射线检测洁净、平整的银样品，采集到3d5/s光电子波谱时（转化为300 W）
** 使用AlKa 射线检测洁净、平整的银样品，采集到3d5/s光电子波谱时（转化为600 W）
X射线源
能量分析仪和入射透镜系统
真空系统
