世界同类产品中性能{zg}的激光干涉仪。
- 外差频率，纤维和光束一对一的干涉仪
- 高柔性校准模块
- 动态测量速度可达4m/s
- 实时时间测量
- 可扩展到六轴
- 用于3D也可快速调整
- 带磁性索紧环的小反射镜
- {zd0}速度4m/s
- 标准分辨率1nm
- 精准度<50nm/m (使用高精度温度传感器)
- 用于笔记本
- 兼容网络
技术参数/测量范围
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