1 200710018887.7 多晶硅薄膜及其组件的制备方法
2 200710078625.X 多晶硅介质平坦化的方法
3 200710143522.7 制备三氯氢硅和多晶硅的改进方法和装置
4 200610116122.2 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
5 200610031088.9 监控两层多晶硅叠栅未对准的方法
6 200610116156.1 多晶硅-绝缘层-金属结构的电容及其制作方法
7 200710147827.5 高纯多晶硅的无损材料检测方法
8 200610030531.0 一种制作多晶硅发射极界面层的方法
9 200610126345.7 提高多晶硅栅极层厚度均匀性的方法
10 200610116747.9 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
11 200610162878.0 多晶硅基片结晶度的测量方法及其应用
12 200680010952.5 使用透明基板制造多晶硅膜的方法和装置
13 200710070537.5 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
14 200710070535.6 多晶硅铸锭炉的硅液溢流保护系统
15 200710103856.1 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
16 200710150842.5 自缓释金属诱导晶化多晶硅薄膜材料的制备方法及应用
17 200610162288.8 气体分布控制系统及多晶硅栅极刻蚀与硅片浅沟槽隔离刻蚀的方法
18 200680010634.9 闪存装置制造中用于多晶硅-1定义非临界互补掩膜方法
19 200610118831.4 多晶硅自对准插塞的制作方法
20 200610119126.6 半导体器件的着片多晶硅接触结构及栅极结构的制造方法
21 200710188198.0 包括低温多晶硅薄膜晶体管的影像显示系统及其制造方法
22 200610119335.0 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
23 200710149348.7 制备大面积多晶硅方法
24 200610119058.3 改善多晶硅缺陷的方法
25 200610119377.4 多用途多晶硅边缘测试结构
26 200610119036.7 一种单层多晶硅栅可编程器件及其形成方法
27 200610119037.1 一种单层多晶硅栅MTP器件及其制造方法
28 200610119564.2 双极CMOS器件多晶硅刻蚀方法
29 200610165226.2 多晶硅刻蚀的方法
30 200610147393.4 量测多晶硅线底部形状的方法
31 200610119407.1 一种多晶硅电容耦合OTP器件及其制造方法
32 200610165336.9 一种多晶硅刻蚀的方法
33 200610147410.4 一种单层多晶硅栅OTP器件及其形成方法
34 200710302246.4 用高密度等离子氧化层作为多晶硅层间绝缘层的分隔栅的构成
35 200710305936.5 多晶硅的制造方法
36 200610148075.X 一种改进型栅极多晶硅掩膜层去除方法
37 200610148243.5 多晶硅栅层的沉积方法
38 200710063231.7 一种多晶硅刻蚀腔室中阳极氧化零件表面的清洗方法
39 200810001510.5 包含多晶硅的半导体器件及其制造方法
40 200680020688.3 多晶硅的制备
41 200710175384.0 高能束流多晶硅提纯装置
42 200710181223.2 具有多晶硅多层绝缘结构的非易失性存储单元
43 200710062733.8 一种多晶硅刻蚀腔室中陶瓷材料零件表面的清洗方法
44 200710050312.3 多晶硅氢还原炉的硅芯棒加热启动方法
45 200710036529.9 一种xx多晶硅刻蚀过程出现缝隙的方法
46 200710073193.3 低温多晶硅薄膜制作方法
47 200810034066.7 具有轻掺杂漏极区的多晶硅薄膜晶体管的制造方法
48 200680028769.8 在屏蔽的栅极场效应晶体管中形成多晶硅层间电介质的结构和方法
49 200710063653.4 多晶硅的等离子生产方法及其装置
50 200710037157.1 一种可改善多晶硅栅极侧面轮廓的栅极制作方法
51 200810019916.6 多晶硅薄膜太阳能电池专用设备
52 200810024481.4 表面加工多晶硅薄膜热膨胀系数的电测试方法
53 200710190889.4 倾倒式多晶硅真空拉锭炉
54 200810035118.2 多晶硅栅表面的清洗方法
55 200810070747.9 多晶硅太阳能电池织构层的制备方法
56 200610063347.6 低温多晶硅薄膜制造方法
57 200610117669.4 一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
58 200710070536.0 多晶硅铸锭炉的硅液溢流承接装置
59 200710171606.1 多晶硅硅化物电熔丝器件
60 200710070538.X 多晶硅铸锭炉的热场节能增效装置
61 200680007000.8 挡板晶圆及其所用的随机定向多晶硅
62 200610159864.3 低温多晶硅驱动电路
63 200710070539.4 多晶硅铸锭炉的热场结构
64 200480044730.6 用于产生结晶方向受控的多晶硅膜的系统和方法
65 200610172718.4 多晶硅图案形成方法、多层交叉点电阻存储器及制造方法
66 200610107616.4 多晶硅薄膜晶体管及其制造方法
67 200610029615.2 多晶硅刻蚀腔体
68 200610108416.0 单层多晶硅可电除可程序只读存储单元的制造方法
69 200710106500.3 用于使低温多晶硅薄膜面板平面化的多晶硅平面化溶液
70 200710052244.4 多晶硅原料低能耗提纯制备方法
71 200710012825.5 一种太阳能电池用多晶硅制造方法
72 200710056020.0 有源驱动有机电致发光显示屏中多晶硅TFT阵列的制作方法
73 200610030101.9 超厚多晶硅回刻的方法
74 200710102457.3 多晶硅控制的回蚀刻显示器
75 200810045015.4 一种转化四氯化硅制取三氯氢硅和多晶硅的方法
76 200710172387.9 太阳能等级多晶硅的制备方法
77 200680032961.4 在流化床反应器中制备颗粒状多晶硅的方法和装置
78 200810010375.0 以高纯石英砂为原料生产太阳能级多晶硅的方法
79 200810011319.9 多晶硅片水基清洗剂
80 200710036107.1 用于多晶硅铸锭工艺的石墨加热器
81 200580028528.9 具有多晶硅浮置隔片的镜像存储单元晶体管对的制造方法
82 200810019985.7 带有多晶硅场板的功率MOS场效应管及其制造方法
83 200710064856.5 基于多晶硅特性制作热剪切应力传感器的方法
84 200810111607.1 多晶硅炉观察装置
85 200810028426.2 合成多晶硅原料三氯氢硅的方法
86 200710039245.5 多晶硅化学机械抛光液
87 200810062062.X 多晶硅级连二极管
88 200810018147.8 多晶硅薄膜晶体管
89 200680021307.3 具有多晶硅电极的半导体器件
90 200810011631.8 去除多晶硅中杂质磷和金属杂质的方法及装置
91 200710039782.X 多晶硅沉积制程
92 200710039785.3 多晶硅薄膜的制备方法
93 200710039806.1 修复多晶硅栅极侧壁刻蚀损伤的方法及栅极的制造方法
94 200810115699.0 物料xx循环的太阳能级多晶硅氢锌还原方法
95 200710055601.2 制备太阳能级多晶硅的新工艺
96 200710040201.4 一种DRAM的多晶硅栅极制作方法
97 200580051984.5 用于对多晶硅膜进行抛光的化学机械抛光浆料组合物及其制备方法
98 200810115482.X 低磷太阳能级多晶硅的制备方法
99 200710008984.8 一种连续生产多晶硅锭的定向凝固方法及其装置
100 200710040644.3 多晶硅薄膜的制备方法 201 200820078196.6 多晶硅铸锭炉同步提升装置
101 200910000997.X 一种多晶硅的制备方法
102 200810242499.1 多晶硅铸锭梯度冷却升降机构
103 200910058454.3 一种多晶硅还原电源硅棒并串联的控制回路
104 200810033364.4 一种用于制备单层多晶硅栅非挥发性存储器的方法
105 200810239393.6 用多晶硅做寿命控制层的内透明集电极IGBT制造方法
106 200810006752.3 宽槽形多晶硅联栅晶体管
107 200910036967.4 一种利用等离子体提纯铸造一体炉制备多晶硅的方法
108 200810202820.3 一种多晶硅坩锅平台支撑装置
109 200910096756.X 一种多晶硅太阳能电池制作方法
110 200910131183.X 多晶硅棒热力学破碎工艺与装备
111 200910115095.0 一种多晶硅铸锭用坩埚涂层以及制备方法
112 200780033206.2 用于制造多晶硅的等离子体沉积装置和方法
113 200910114990.0 一种用于生长多晶硅棒的硅芯及其制备方法
114 200780034918.6 用于功率金属氧化物半导体场效应晶体管及集成电路的递减电压多晶硅二极管静电放电电路
115 200810074096.0 具多晶硅层及微晶硅层的双底材主动层结构、方法及装置
116 200810101433.0 槽形栅多晶硅结构的联栅晶体管
117 200780038846.2 具有直接沟槽多晶硅接触的横向沟槽金属氧化物半导体场效应晶体管及其形成方法
118 200910068556.3 多晶硅生产过程中的三氯氢硅分离提纯系统及操作方法
119 200810049380.2 多晶硅薄膜太阳能电池的制造方法
120 200910127948.2 多晶硅制造装置中的聚合物钝化方法
121 200910127763.1 多晶硅制造装置
122 200810035593.X 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
123 200810119290.6 槽形栅掺砷多晶硅结构的联栅晶体管
124 200910133207.5 用于使用多晶硅的沟槽DMOS器件的源极和本体连接结构
125 200910140420.9 一种制备多晶硅的方法
126 200910111782.5 组合式多晶硅提纯凝固坩埚
127 200910111808.6 一种多晶硅的除硼提纯方法及装置
128 200780029083.5 用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
129 200780044724.4 非离子型聚合物在自停止多晶硅抛光液制备及使用中的应用
130 200910098050.7 利用硅纳米颗粒制备高纯多晶硅的方法及装置
131 200780036642.5 提高多晶硅的纯化和沉积效率的方法和装置
132 200910062209.X 一种多晶硅生产用氢化炉装置内电极密封的方法及装置
133 200910132968.9 多晶硅棒的制造方法
134 200810089244.6 晶体连续生产设备及使用该设备连续生产多晶硅的方法
135 200910025729.3 多晶硅硅料的清洗方法
136 200780037469.0 一种用于抛光多晶硅的化学机械抛光液
137 200910138449.3 多晶硅铸锭炉的耐腐蚀涂层、耐高温保护层及其制备方法
138 200910145826.6 一种测定多晶硅中硼、磷含量的方法
139 200810105616.X 掺杂多晶硅的平坦化方法以及多晶硅浮栅的制作方法
140 200810105307.2 多晶硅薄膜及栅极的形成方法
141 200810105321.2 多晶硅表面平坦化的方法
142 200810036944.9 利用多晶硅基脚特性实现低漏电流的PMOS器件的加工方法
143 200910046019.9 自对准侧壁多晶硅导线制造方法及使用该方法制造的导线
144 200910148648.2 数控多晶硅硅芯多线切割机床
145 200910084349.7 一种工业化生产太阳能级多晶硅的方法
146 200810105898.3 多晶硅薄膜及多晶硅栅极的形成方法
147 200810043325.2 顶部带有硬质掩膜层的多晶硅栅极结构及制备方法
148 200910203791.7 多晶硅还原炉高压启动绝缘电极
149 200910080145.6 一种多晶硅薄膜太阳能电池
150 200910304025.X 一种提纯太阳能级多晶硅的装置与方法
151 200910032771.8 多晶硅酸蚀化学绒面制备添加剂
152 200910032629.3 多晶硅铸锭设备的漏硅检测结构
153 200810038057.5 用于基于SONOS的快闪存储的多晶硅栅极蚀刻方法和器件
154 200910029711.0 冶金级多晶硅太阳能电池磷扩散工艺
155 200810123892.9 多晶硅用石墨
156 200810038393.X 三为一体多晶硅定向结晶炉
157 200910022651.X 一种用于回收多晶硅提纯工艺废物焚烧废热的余热锅炉
158 200810113689.3 多晶硅栅极、半导体器件及其形成方法
159 200810113994.2 多晶硅栅极、侧墙、半导体器件及其形成方法
160 200910059827.9 多晶硅生长视频监测装置
161 200810038676.4 用于制备高纯多晶硅的装置
162 200910059828.3 多晶硅还原炉自动调功装置
163 200910099992.7 在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅的方法
164 200910099994.6 氮气下融硅掺氮制备铸造多晶硅的方法
165 200910099995.0 掺氮的定向凝固铸造多晶硅及其制备方法
166 200910099996.5 在氮气下铸造氮浓度可控的掺氮多晶硅的方法
167 200910115634.0 一种生长多晶硅锭的坩埚
168 200910055381.2 掩模刻蚀制程中减少多晶硅损失的方法
169 200910055367.2 单层多晶硅HBT非本征基区的掺杂方法
170 200910055368.7 一种基于多晶硅发射极的双极晶体管
171 200910115701.9 一种用于多晶硅生产领域的防止硅液漏流用坩埚托
172 200910158901.2 一种高纯多晶硅的生产方法及生产装备
173 200810110659.7 一种在炉管中沉积多晶硅的方法
174 200810115557.4 一种多晶硅装置的清洗方法
175 200910150342.0 多晶硅制造装置
176 200910029714.4 多晶硅酸法制绒工艺
177 200780035173.5 制造多晶硅和硅-锗太阳能电池的方法和系统
178 200820032048.0 新型快开式、水冷结构的多晶硅还原炉
179 200820032049.5 新型多晶硅还原炉之水冷双层玻璃视镜
180 200820032050.8 新型多晶硅还原炉之水冷电极
181 200820092178.3 具有多晶硅装饰层的物品
182 200820031099.1 多晶硅铸锭炉的热场结构
183 200820031100.0 具有一层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
184 200820031101.5 具有五层保温条的多晶硅铸锭炉的热场结构
185 200820031102.X 具有石墨冷却块保温条的多晶硅铸锭炉热场结构
186 200820031103.4 多晶硅铸锭炉坩埚的护板
187 200820080640.8 一种多晶硅铸锭炉
188 200820080641.2 多晶硅炉传动装置
189 200820080643.1 一种新型多晶硅炉
190 200820080644.6 多晶硅铸锭炉
191 200820080645.0 多晶硅炉泄压装置
192 200820074772.X 适于单层多晶硅CMOS工艺的LCOS像素单元结构
193 200820152971.8 多晶硅提纯或铸锭炉的硅液泄漏防护机构
194 200820152970.3 多晶硅坩埚平台支撑机构
195 200820105591.9 多晶硅还原炉
196 200820121103.3 一种多晶硅定向长晶热场结构
197 200820036508.7 一种多晶硅用石墨
198 200820059460.1 用于制备高纯多晶硅的装置
199 200820113023.3 带有补充加料装置的定向凝固多晶硅铸造炉
200 200820105592.3 进气管喷嘴可调节的多晶硅还原炉
202 200820059254.0 三位一体多晶硅定向结晶炉
203 200820137425.7 托在多晶硅生产领域用的坩埚下部的防漏流的坩埚托
204 200820149291.0 一种多晶硅还原炉用变压器
205 200820030371.4 连续式多晶硅提纯结晶炉
206 200820136520.5 一种用于多晶硅真空区熔提纯的加热线圈
207 200820075921.4 一种多晶硅还原炉或氢化炉用干式变流变压器
208 200820185247.5 用于多晶硅结晶的石英坩埚
209 200820137039.8 多晶硅还原炉挠性结构冷却夹套
210 200820137741.4 带有微调装置的多晶硅铸锭炉上料用货叉
211 200820222321.6 用于多晶硅生产的固舌阀塔盘
212 200820161381.1 多晶硅静态温梯定向凝固提纯炉
213 200820134295.1 一种多晶硅变流变压器
214 200820154685.5 多晶硅还原炉阶梯渐进导流板夹套
215 200820154686.X 并联双螺旋导流通道多晶硅还原炉底盘
216 200820154563.6 带波纹管热补偿结构的多晶硅设备双层视镜
217 200820222840.2 多晶硅氢还原炉
218 200820222838.5 多晶硅生产中的氯硅烷、氢气混合的装置
219 200820222839.X 多晶硅氢还原炉底盘的高温水冷却装置
220 200820222841.7 多晶硅氢还原炉
221 200820222842.1 多晶硅氢还原炉电极结构
222 200820222843.6 多晶硅氢还原炉硅芯棒与石墨夹头的连接装置
223 200820222844.0 多晶硅氢还原炉出气管的空气冷却装置
224 200820222867.1 多晶硅生产中回收冷凝的装置
225 200820222925.0 余热锅炉型多晶硅还原炉冷却装置
226 200820215102.5 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅喷涂装置
227 200820223324.1 多晶硅生产干法尾气回收四氯化硅淋洗塔
228 200820137429.5 一次能取出多根多晶硅棒的取棒装置和取棒装置组合件
229 200820113667.2 多晶硅提纯用真空电子束熔炼炉
230 200820029174.0 多晶硅铸锭用高纯石英坩埚专用烧结炉
231 200820123351.1 用于制备多晶硅的还原炉
232 200820228481.1 一种多晶硅双硅芯拉制装置
233 200820176463.3 一种多晶硅还原炉
234 200820179653.0 PLC自动控制的多晶硅还原炉进气装置
235 200820189931.0 多晶硅还原炉用硅芯电极
236 200820215103.X 多晶硅太阳能电池铸锭用石英坩埚的氮化硅膜烘烤装置
237 200920038513.6 多晶硅结晶炉炉壁保护的石英内衬
238 200820169120.4 一种多晶硅铸锭炉硅液溢流保护结构
239 200820180536.6 多晶硅晶体切割形成太阳能晶片的装置
240 200820205698.0 用于制造具有透光孔的多晶硅太阳能电池的模具
241 200820176568.9 多晶硅还原炉进气喷嘴
242 200820180533.2 多晶硅晶棒的制造装置
243 200920106586.4 由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置
244 200920078629.2 多晶硅还原炉
245 200920079303.1 多晶硅还原电源硅棒并串联的控制回路
246 200920141856.5 用于定向凝固多晶硅铸造炉补充加料的定量给料器
247 200820154319.X 用于多晶硅生产的三氯氢硅汽化装置的挥发器及控制系统
248 200920002790.1 多晶硅还原炉用硅芯夹持装置
249 200820169185.9 一种多晶硅料提纯设备
250 200820182364.6 多晶硅破碎台
251 200920006422.4 多晶硅氢化炉用碳/碳复合材料加热带结构

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