WGL光电轮廓仪\粗糙度仪 WGL光电轮廓仪是应用高精度光学干涉原理和数字图象处理技术而发展起来的新型仪器。 WGL光电轮廓仪 产品简介 WGL光电轮廓仪 技术规格: 表面微观不平深度测量范围 突变时: 130∼1nm
测量的重复性: sRa≤0.5nm
物镜倍率 40X
数值孔径 0.65
工作距离 0.5mm
仪器视场 目视 f0.25mm
摄象 0.13X0.13mm
仪器放大倍数 目视 500X
接收器测量列阵 1000X1000
象素尺寸 5.2X5.2µm
反射率(低) ∼4%
照明光源 白炽灯 6V 5W
绿色干涉滤光片波长 l=530 nm
半宽度 Dl=10 nm
主显微镜升程 110 mm
工作台升程 5 mm
X、Y方向移动范围 ∼10 mm
工作台旋转运动范围 360°
工作台倾斜范围 ± 6°
17²纯平显示器
打印机 彩色打印机
仪器主机尺寸 300X300X500mm
重量 Kg
总系统尺寸 mm
重量 Kg
电源 220V 50/60Hz
功耗 < 300W
|