WGL光电轮廓仪- ¥98000.00

WGL光电轮廓仪\粗糙度仪

WGL光电轮廓仪是应用高精度光学干涉原理和数字图象处理技术而发展起来的新型仪器。
它主要用于测量各种精密加工零件表面的微观三维结构,如表面粗糙度,零件表面的刻线、刻槽的深度和镀层的厚度等。
本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法,测量时不损伤工件表面,能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形,并分析计算出测量结果。适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度;标尺、度盘的刻线深度;光栅的槽形结构;镀层厚度和镀层边界处的结构形貌;磁(光)盘、磁头表面结构测量;硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
由于仪器测量精度高,重复性好,具有非接触和三维测量的特点,并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果,本仪器适用于各级测试、计量研究单位,工矿企业计量室,精密加工车间,也适用于高等院校和科学研究单位等
 

WGL光电轮廓仪 产品简介
仪器由倒置式改为正置式,更符合人们的操作习惯;
应用CMOS代替CCD,省去图象卡并提高了质量;
用低压电源代替高压电源,节省了仪器成本;
用国产的代替德国进口压电陶瓷,解决了关键部件的进口难题;
增加了自动步距和亮度校正程序,同时增加了局部放大三维立体图功能;
 

WGL光电轮廓仪 技术规格:

表面微观不平深度测量范围

突变时:                                      130∼1nm
测量的重复性:                                  sRa≤0.5nm
物镜倍率                                               40X
      数值孔径                                        0.65
      工作距离                                       0.5mm
仪器视场 目视                                     f0.25mm
           摄象                                0.13X0.13mm
仪器放大倍数 目视                                     500X   
接收器测量列阵                                    1000X1000
      象素尺寸                                    5.2X5.2µm
             反射率(低)                             ∼4%
照明光源 白炽灯                                     6V 5W
绿色干涉滤光片波长                                l=530 nm
              半宽度                              Dl=10 nm
主显微镜升程                                         110 mm
   工作台升程                                          5 mm
   XY方向移动范围                                ∼10 mm
   工作台旋转运动范围                                  360°
   工作台倾斜范围                                      ± 6°
                                                17²纯平显示器
         打印机                                    彩色打印机
   仪器主机尺寸                                300X300X500mm
           重量                                           Kg
   总系统尺寸                                             mm
         重量                                             Kg
   电源                                         220V 50/60Hz
   功耗                                               < 300W

 
 

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