2 真空的测量技术 — 真空计

测量真空度的仪器叫做真空计。由于真空系统的压强范围在1.013×105~1.33×10-10Pa之间。如此宽的测量范围是不可能用一种真空计来完成的，所以应根据压强范围选择不同的真空计。按照工作原理不同，真空计可分为两大类。

2.1 {jd1}真空计

（1）U型真空计

其测量原理与U型压力计类同，它有开口语闭口之分，其测量范围在1.013×105~0.6665×102Pa。

（2）压缩真空计（麦克劳真空计）

该真空计的测量范围为1.33×102~1.33×103Pa。其优点是结构简单，测量精度高。

以上两种真空计的共同缺点是不能连续测量和自动记录，操作较繁琐，玻璃制品易碎，工作介质（汞）易污染环境，故不宜用于生产现场，同时也不宜用于可凝性气体。

2.2 相对真空计

用来测量与压强有关的物理量的变化来测量真空度的称为相对真空计，它能连续测量并能自动记录，但其准确度较低，这是由于低压测量本身的困难，加上所利用的物理性质常受到其他因素的干扰。实际上这类仪器能做到数量级准确即可。

（1）热电阻真空计

其基本原理是利用气体热传导系数与气体压强的关系，但不是直接由热传导系数测真空度，而是通过与温度有关的物理量（电阻）的变化来间接测量的。测量范围为1.33×10-2~0.133Pa的中真空。

（2）热偶真空计

通过热丝温度的变化来反映真空度的高低，和热电阻真空计一样，它也不能测量低真空和高真空，其测量范围也在1.33×10-2~0.133Pa。

（3）热阴极电离真空计

利用电离现象原理，测量范围为1.133×10-5~1.33Pa，为工作方便，有时将上述三种真空计组装在一起成为复合真空计，它可以从低真空一直测到高真空。

3真空检漏 — 检漏仪

随着电子技术和计算机技术的发展，各种真空获得设备向高抽速、高极限真空、无污染方向发展。而极限真空的提高依赖于检漏方法的改进，表1列出了检漏常用方法。

加压法是指向被检系统内充以一定压强的气体，使其压强大于大气压，当系统上有漏孔时，充入的气体便逸出，使用适当探测器，就可以判断有无漏孔及漏孔位置。

抽气法是将被抽系统抽成真空，再用探测气体（或物质）施与系统外部可疑部位，如有漏孔，探测气体（或物质）即通过漏孔进入系统，此时用探测器就可检视出来，从而判断漏孔的位置及大小。