为了使堵片传感器的灵敏度, 分辨率、测量范围小、测量精度等得到提高, 可实现对堵片打开信号的可靠、稳定测量, 满足航天飞行器发动机控制系统信号测试需要, 某堵片传感器制造商采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 RFCIP220 溅射制备堵片传感器薄膜.
伯东 KRI RFICP220 技术参数:
型号 |
RFICP220 |
Discharge |
RFICP 射频 |
离子束流 |
>800 mA |
离子动能 |
100-1200 V |
栅极直径 |
20 cm Φ |
离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
10-40 sccm |
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 |
< 0.5m Torr |
长度 |
30 cm |
直径 |
41 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
KRI 的独特功能实现了更好的性能, 增强的可靠性和新颖的材料工艺. KRI 已经获得了理想的薄膜和表面特性, 而这些特性在不使用 KRI 技术的情况下是无法实现的.
KRI 已应用于许多已成为行业标准的过程中.
伯东是德国 , , , , 美国 , 美国HVA 真空阀门, 美国 , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯东版权所有, 翻拷必究!