| 【中文篇名】 | 深腐蚀声表面波谐振器长期老化的改善 |
| 【作者】 | Charles A.Adams; John A.Kusters; 王克刚; |
| 【文献出处】 | 宇航计测技术 , Journal of Astronautic Metrology and Measurement, 编辑部邮箱 1981年 01期 期刊荣誉：ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 老化曲线; 声表面波谐振器; 老化率; 频率漂移; 深腐蚀; 电子扫描显微镜; 等离子体; 腐蚀系统; |
| 【摘要】 | 最近,深腐蚀声表面波谐振器的长期性能表明,在老化方面取得引人注目的改善是可能的。我们以前报导过关于这种器件的长期老化率为1×10~(-8)/日。该数据还不能证明老化率随时间递减的特性。由于对表面加工、清洗和后来对再污染的控制有了很大改进,以及重新设计了腐蚀系统,因而,目前的声表面波谐振器在60℃时的老化率大约为2.8×10~(-9)/日。此外,这些器件的Q值在160兆赫时,大于50000。经130天后,频率漂移曲线仍在渐近地减少。根据目前的性能,实现1×10~(-9)/日或更小的极限老化率看来是可能的。 |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:YHJJ.0.1981-01-014 |
| 【更新日期】 | 2006-11-09 |
| 【正文快照】 | 引盲 在以前的频率控制〔1〕和超声波论文集〔2〕里,报导过深腐蚀声表面波谐振器的老化率为1 xl『“/日,而且,在大多数情况下,还比此数字差2一3倍,如表1中所列。在过去一年里,我们的努力已经证明,可以生产出老化率比得上好的体波器件的声表面波谐振器。 表1以前的教据R。Q。31 |
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