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小型蒸镀仪（Small-size Thermal Evaporation System）是一种利用高温蒸发技术制备薄膜的设备，也被称为真空蒸发沉积设备。该设备主要由蒸发源、真空室、控制系统和抽气系统等主要组件组成。
蒸发源是将待蒸发材料固体化为块状，通过高温蒸发制备薄膜的重要组件。通常使用的蒸发源材料包括金属材料、氧化物、硅等材料，其形状可以是块状、线状、板状等。
真空室是制备薄膜时的反应室，通过泵抽气将室内氧气、水蒸气等挥发性杂质排出，以便保持真空环境。控制系统用于控制温度、气压、蒸发速率和薄膜厚度等参数，确保薄膜制备的准确 性。抽气系统则用于控制和维持真空环境。
小型蒸镀仪通常用于实验室或小批量生产，可以制备纯净、均匀和厚度可控的薄膜。它广泛应用于电子器件、光学器件、纳米材料制备等领域。同时，因为蒸镀过程简单、成本低廉，因此小型蒸镀仪也被称为最具经济性的薄膜制备设备之一。