传感器敏感芯体的结构形式- 王衡丰的日志- 网易博客

传感器敏感芯体的结构形式

2010-05-08 10:29:45 阅读7 评论0 字号:

     压电加速度传感器的敏感芯体一般由压电材料和附加质量块组成,当质量块受到加速度作用后便转换成一个与加速度成正比并加载到压电材料上的力,而压电材料受力后在其表面产生一个与加速度成正比的电荷信号。压电材料的特性决定了作用力可以是受正应力也可以是剪应力,压电材料产生的电荷大小随作用力的方向以及电荷引出表面的位置而变。根据压电材料不同的受力方法,常用敏感芯体的结构一般有以下三种形式:
   1、弯曲变形梁形式:压电材料受到弯曲变形而产生电荷的结构形式。弯曲变形梁结构可产生比较大的电荷输出信号,也较容易实现控制阻尼;但因为其测量频率范围低,更由于此结构不能排除因温度变化而极容易产生的信号漂移,所以此结构在压电型加速度计的设计中很少被采用。
 
   2、剪切形式:通过对压电材料施加剪切力而产生电荷的结构形式。从理论上分析在剪切力作用下压电材料产生的电荷信号受外界干扰的影响甚小,因此剪切结构形式成为最为广泛使用的加速度传感器敏感芯体。然而在实际制造过程中,确保剪切敏感芯体的加速度计持有较高和稳定的频率测量范围却是传感器制造中工艺中最为困难的一个环节。北智BW-Sensor 采用进口记忆金属材料的紧固件从而保证传感器具有稳定可靠的谐振频率和频率测量范围。
   3、压缩形式:压电材料受到压缩或拉伸力而产生电荷的结构形式。压缩式敏感芯体是加速度传感器中最为传统的结构形式。其特点是制造简单方便,能产生较高的自振谐振频率和较宽的频率测量范围。而{zd0}的缺点是不能有效地排除各种干扰对测量信号的影响。

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