2010-04-21 14:13:45 阅读6 评论0 字号:大中小
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一切以气体或蒸气作为激光工作物质的激光器,统称为气体激光器。这是目前种类最多、发展最快、应用最广的一类激光器。通常可以把气体激光器划分为原于气体激光器、离子气体激光器、分子激光器和准分子激光器。气体激光器的激励方式很多,通常采用气体放电激励,此外还可采用电子束激励、气动式激励、化学激励、光激励和核动激励等。气体激光器与液体激光器、固体激光器和半导体激光器一样,已经实现了实用化。它已广泛用于工农业生产、科学研究、国防建设和医疗卫生等领域。气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体。由于激光混合气中组分气的纯度直接影响激光的性能,特别是气体中氧、水、碳氢化合物等杂质的存在,将导致激光输出功率在镜(面)和电极上的耗损,还会引起激光发射的不稳定。因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)-氖(Ne)激光作为{dy}代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。 表-激光混合气, 列出常见的氦氖激光混合气、二氧化碳激光混合气、氪氟激光混合气、密封束激光混合气和准分子激光混合气的组成和具体用途。
740)this.width=740" border=undefined> PR气、组织等价气、电子捕获(ECD)用混合气、Q猝灭气(QueBchGas)、盖革气(GeigerGasMixture)、正比计数管用气(ProportionalCountingGasMixture)、氢火焰离子化检定器(FID)燃烧用混合气、火花室混合用气(SparkChamberMixtures)、X射线荧光分光计(X-RayFluorescenceSpectroscopy)用混合气及气相色谱仪用载气等。 其类别、混合气用途和组成见表-2特殊仪器用混合气及表-3特殊仪器用混合气 740)this.width=740" border=undefined> 740)this.width=740" border=undefined>
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