真空扩散焊的主要焊接参数有：温度、压力、保温扩散时间和保护气氛，冷却过程中有相变的材料以及陶瓷等脆性材料的扩散焊，还应控制加热和冷却速度。
(1)温度 系扩散焊最重要的焊接参数。在一定温度范围内，扩散过程随温度的提高而加快，接头强度也能相应增加。但温度的提高受工夹具高温强度、焊件的相变和再结晶等条件所限，而且温度高于一定值后，对接头质量的影响就不大了。故多数金属材料固相扩散焊的加热温度都定为0.6 - 0.8Tm (K)，其中Tm为母材熔点。
(2)压力 主要影响扩散焊的{dy}、二阶段。较高压力能获得较高质量的接头，接头强度与压力的关系见图2-46。焊件晶粒度较大或表面粗糙度较大时，所需压力也较高。压力上限受焊件总体变形量及设备能力的限制.除热等静压扩散焊外，通常取0.5 -50MPa。从限制焊件变形量考虑，压力可在表2-24范围内选取。鉴了压力对真空扩散焊的第兰阶段影响较小，故固相扩散焊后期允许减低压力，以减少变形。
(3)保温扩散时间 保温扩散时间并非独立变量，而与温度、压力密切相关，且可在相当宽的范围内变化。采用较高温度和压力时，只需数分钟;反之，就要数小时。加有中间层的扩散焊，还取决于中间层厚度和对接头成分、组织均匀度的要求。必须指出，保温扩散时间短果然会影响接头质量，时间过长也会造成不利影响，表现为母材的晶粒长大，韧性降低。对可能形成脆性金属间化合物的接头，还应控制扩散时间，以求减小脆性层厚度。
(4)保护气氛 真空扩散焊真空与非真空之分，非真空扩散焊通常在保护气氛中进行，以Ar作为保护气，一些材料也可使用H2、He或高纯氮。真空扩散焊真空度取(1~20)×10-3Pa，在真空中扩散，在其他参数相同的情况下比常压氩保护时所需扩散时间要短。
