深圳、东莞地区,四氟化碳(CF4)

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气体名称: 四氟化碳,四氟甲烷,tetrafluoromethane
分子式: CF4
CAS No. 75-73-0
UN No. UN1956
四氟化碳纯度:99.99~99.999%。
99.999%四氟化碳的杂质:氮气< 5 ppm,< 2 ppm,总烃< 1 ppm,一氧化碳< 1 ppm,二氧化碳< 1 ppm,水< 2 ppm
包装说明:40L钢瓶,43LDOT钢瓶,30kg/瓶,32kg/瓶。阀门型号:CGA580、CGA590,或按客户要求。
气体说明: 四氟化碳是不燃烧的无色、无味的高压液化气体,充装于钢瓶中,常温下的饱和蒸汽压约13MPa,熔点-150℃(-184℃),沸点128℃,密度1.96g/cm3,临界温度-45.67℃,临界压力:3.74MPa,介电常数:1.0006(25℃,0.5MPa)。四氟化碳是目前微电子工业中用量{zd0}的等离子蚀刻气体,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。由于它的化学稳定性,四氟化碳可用于金属冶炼,例如:铜、不锈钢,碳钢、铝、蒙乃尔等;还可用于塑料行业;如:合成橡胶、氯丁橡胶、还可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,
注意事项: 四氟化碳不燃性压缩液化气体。储存于阴凉、通风仓间内。仓内温度不宜超过30℃。远离火种、热源。防止阳光直射。应与易燃或可燃物分开存放。验收时要注意品名,注意验瓶日期,先进仓的先发用。搬运时轻装轻卸,防止钢瓶及附件破损。泄漏时,应迅速撤离泄漏污染区人员至上风处,并进行隔离,严格限制出入。建议应急处理人员戴自给正压式呼吸器,穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风,加速扩散。如有可能,即时使用。漏气容器要妥善处理,修复、检验后再用。
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四氟化碳性质:
分子量: 88.005
熔点 (101.325kPa) : -186.8℃
沸点 (101.325kPa) : -128.0℃
液体密度 (- 127.94℃ , 101.325kPa) : 1603kg /m 3
气体密度 ( 0℃ , 101.325kPa) : 3.946 kg /m 3
相对密度 ( 气体, 0℃ , 101.325kPa) : 3.05
气液容积比 ( 15℃ , 100kPa) : 436 L /L
比容 ( 21.1℃ , 101.325kPa) : 0.2747m 3 /kg
临界温度: -45.6℃
临界压力: 3739kPa
临界密度: 629kg /m 3
熔化热 (- 186.8℃ ) : 7.609 kJ/kg
气化热 (- 127.94℃ , 101.325kPa) : 135.65 kJ/kg
比热容 ( 气体, 25℃ , 101.325kPa) : Cp=696 J/(kg·K)
Cv=602J/(kg·K)
比热比 ( 气体, 25℃ , 101.325kPa) : Cp/Cv=1.157
蒸气压 ( -180.65 C ) : 0.20 kPa
( -120℃ ) : 165 kPa
( -50℃ ) : 3220 kPa
粘度 (101.325kPa , 0℃ ,气体 ) : 0.0161 mPa·S
( -60.0℃ ,液体 ) : 0.170 mPa·S
表面张力 ( -80.0℃ ) : 6.4 mN/m
导热系数 (101.325kPa , 0℃ ) : 0.01503 w/(m·K)
( 液体, -60.0℃ ) : 0.07196 w/(m·K)
折射率 ( -73℃ ) : 1.151

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