在先进的生产制作进程中，非接触的在线检测施展着越来越主要的作用。在线检测的对象在被测进程中是不断变更着的，因此对检测传感器不仅请求其精度高、稳固可靠、有良好的动态性能、能对快速信号实时响应监控，而且一般要非接触式丈量，并便于安装,。

Keywords: Michelson interferometer, fiber polarized-light interferometer, power, glass substrate, V-groove

1，  试验原理设计

本文提出一种新型的光纤偏振光干涉仪，它将偏振光干涉技术和光纤传感技巧相联合，能对玻璃基板V型槽的纤芯距进行高精度的在线检测的非接触丈量。

摘要：先容了一种在玻璃基板上切割V型槽并对V型槽纤芯距进行高精度测量的光纤偏振光干预仪，该体系包含光源、偏振器、偏振把持器、波片、自聚焦透镜和探测器组成，并对这种光纤原理进行剖析。其理论上其丈量精度可到达0.01nm，很好地解决了实际生产中高精度的非接触在线检测，并满足了光通讯行业对V型槽纤芯距的实际请求。

Abstract: An optical fiber polarized-light interferometer for high precise measurement of V-groove core pitch was designed and the optical fiber sensor theory was analyzed. The system including on Power, Polarimeter, Polarization controller, Wave plate, Self-focus lens and Detector. The accuracy of this method is 0.01 nm in theory; it is suitable for online non-contact measurement and monitor in production process.

日本在光通信纤维阵列用V型槽基板的加工装备开发上起步较早，也具有较为成熟的技术计划。目前，等国度生产光通讯纤维阵列用V型基板全体采取高精度的专用切割机，而此类装备日本等发达国度对我国实行禁运，国内部分企业与机构也曾尝试对此方面进行研讨，皆由于技巧难度较高，而{zj2}以失败告终，因此在国内尚属于空缺。

要害词：迈克尔逊干预仪；光纤偏振干预仪；光源；玻璃基板；V型槽

在光通讯纤维阵列用玻璃基板上刻高精度V型槽（通用型槽间距即纤芯距为127±0.5um和250±0.5um）的要害技巧被日韩等少数国度垄断，国内应用的光纤阵列用V型槽基板均须要依附入口,，价钱昂贵，严重制约了我国光纤到户（FTTH）工程的过程。而光通信纤维阵列用V型槽基板是光纤到户工程中必不可少的光器件,，重要用于对光纤精断定位生产各种连接光纤干线与家用光纤之间的信号传输的光器件。

引言