恩梯恩公司(NTN)2016年3月9日宣布,开发出了涂敷数pL的液滴、然后对涂敷后的形状进行三维测定的“带测定功能的微细涂敷机”(英文发布资料)。设想的用途包括:安装芯片零部件时使用的粘合剂和导电膏的涂敷、管理和检查;组装微型机械、微型机器人时粘合剂的涂敷、管理和检查;生物和新药开发等。该装置可以测量涂敷的形状、面积和涂敷量的体积,因此能够对涂敷材料的时间变化和干燥度等特性进行评测。
“带测定功能的微细涂敷机”的外观(发布资料)
该公司2015年开发出了“台式高速微细涂敷机”,能够以每次0.1秒的速度、以1μm的定位精度,使用针尖上附着的数pL的液滴进行直径为0.01~0.1mm点状涂敷(英文发布资料)。这次的新装置在此基础上又增加了“微细三维形状测定”功能。当测定的高度范围在20μm以内时,涂敷时间为0.1秒,测定时间为0.6秒,只需0.7秒即可完成涂敷和测定(不包括载物台移动时间)。通过全面测定涂敷的粘合剂等的形状和涂敷量,得到的数据可以用于品质管理等。
新装置的设置面积约为300mm×300mm,与2015年的产品基本相同。涂敷机需配合个人电脑使用,通过鼠标设定微细涂敷及形状测定的条件等。