产品简介
TDM-200膜层监控仪适用于高频溅射、直流溅射、电阻蒸发、离子束、电子束等镀膜应用场合,在线测量膜层的厚度,可用于批量生产,也可用于薄膜材料研究.本仪器具有高速高精度测量系统,可提高镀膜的质量和可重复性,具有xx稳定、易于操作、配置灵活的特点.还提供了监测和控制功能,您可通过液晶显示屏连续获取沉积速率、厚度和晶片频率;
并可通过计算机记录数据并实时描绘厚度曲线和速率曲线.
▲TDM-200型膜层控制仪采用全中文人机操作界面,方便您的编程和操作.
▲频率计算精度和显示分辨率达到0.1Hz,计算速率达到每秒四次,为您制备薄膜提供了有力支持.
▲提供了RS-232接口,您可对镀膜过程进行遥控.并可通过计算机实时描绘厚度曲线和速率曲线.
▲对于多层膜中的关键膜层,您可使用特定的挡板探头监测,大大提升产品成膜质量和精度.
▲可配合多源镀膜系统,并为您提供了256种材料参数供使用.
▲连续镀膜还设计了自动监控方式,简化您的操作.
▲19英寸标准机箱,备有适配电缆,易于安装至现有的装置中.