长度计量器具(量块部分)检定系统
本检定系统适用于长计量器具--量块和与量块长度密切相关的计量器具的检定,规定了长度单位(m)国家基准的用途,基准所包括全套的基本计量器具,基准的基本计量学参数和借助于副基准、工作基准和标准向工作计量器具传递长度单位量值的程序,并指出其不确定度、示值误差和基本检定方法。
一、 计量基准器具
1、国家长度计量基准
1.1国家长度计量基准由经过饱和吸收稳频的激光辐射线波长(λ=3.3922313970μm,λ=0.6329913981μm,λ=0.6119707698μm)和其他由米定义咨询委员会(CCDM)推荐的辐射线波长所组成,其测量结果总的相对不确定度Ur(置信限)为
Ur=1.3×10-10~4×10-9
1.2计量基准的用途,对上复现国际米定义--光在真空中在299792458分之一称时间间隔内所行经距离的长度--所定义的长度(m);对下把其所复现的长度经由拍频或其他比较方式传递到工作基准。
2、副基准
副基准的结构和技术指标与基准相同,通过相互比对与基准保持一致或传递到工作基准。
3、工作基准
3.1工作基准由稳频的He-Ne激光波长,86Kr,198Hg,114Cd,Kr,He和Cd辐射线的波长,其测量结果总的相对不确定度Ur=5×10-8~1×10-7,适当类型的光波干涉仪,钢量块组(标称长度为:1,50,100,500和1000mm6块)和石英量块组(标称尺寸为:5,50,100,500和1000mm6块)等三部分组成。当置信概率为0.99,其长度测量结果的总{jd1}不确定度(或总不确定度)U(用置信限表示--以下均同)为:
U=(0.02+0.1ι)μm
式中:ι--量块的长度(m)。
3.2工作基准中的长度测量装置,直接用于高等级量块(包括工作基准组量块)的长度测量。其中工作基准组量块主要用于国际和国内{zg}等级量块长度测量装置测得结果的相互比对,以此保持量值在国内和国际间的统一。
二、计量标准器具
4、计量标准器具由各种类型具有直接测量或比较测量功能的仪器和分为6个等的量程到1000mm的量块组成。当置信概率为0.99,各等量块中心长度测量结果的总不确定度U(置信限)如表1所示。
表1
4.1计量标准器中的仪器,凡具有直接测量功能的,例如光波干涉仪、测长机和测长仪等,可以直接测量相应等级的量块和工作计量器具的长度。只具有比较测量功能的,例如某些类型的接触干涉仪、光学计和电感比较仪等,采用比被测高一等的量块作标准,比较测量相应等级的量块和其他工作计量器具。
4.2计量标准器中的各等量块,可以用直接测量或比较测量法检定适当示值误差的工作计量器具。
三、工作计量器具
工作计量器具的名称和有关特征列于表2。
名称 |
量程R |
示值误差△ |
O |
OS |
测量方式 | ||
00级量块 0级量块 K级量块 1级量块 2级量块 3级量块 |
0.5-1000 0.5-1000 0.5-1000 0.5-1000 0.5-1000 0.5-1000 |
0.05+1.0ι 0.10+2.0ι 0.20+4ι 0.20+4ι 0.4+8ι 0.8+16ι |
1 1 2 2 3 4 |
|
D D D D D D |
C C C C C |
M |
量块长度测量的干涉仪 量块长度测量的干涉仪 量块长度测量的干涉仪 量块长度测量的干涉仪 立式接触式干涉仪 卧式接触式干涉仪 |
~1000 ~100 ~100 100~1000 ±(2.5,5,10)μm ±(2.5,5,10)μm |
0.02+0.2ι 0.02+0.2ι 0.03+0.5ι 0.03+0.5ι 0.03+1.5ni×△λ/λ 0.03+1.5ni×△λ/λ |
|
1.2 |
D D D D D D |
|
|
0.2μm光学计 1μm立式光学计 1μm卧式光学计 |
±(20,83)μm ±100μm ±100μm |
0.05+0.0025A 0.2-0.25 0.2-0.25 |
2 2 |
2 3 3 |
D D D |
|
|
0.1μm扭簧比较仪 0.2μm扭簧比较仪 0.5μm扭簧比较仪 1μm扭簧比较仪 2μm扭簧比较仪 5μm扭簧比较仪 10μm扭簧比较仪 |
±100μm ±100μm ±100μm ±60μm ±50,60μm ±60μm ±60μm |
0.1-0.2 0.15-0.3 0.25-0.5 0.40-1.0 0.8-1.2 2-3 3-5 |
2 2 3 4 5 5 |
2 3 4 4 5 |
D D D D D D D |
|
|
0.1,1,10μm电感比较仪 0.5μm杠杆齿轮式比较仪 1μm杠杆齿轮式比较仪 2μm杠杆齿轮式比较仪 |
±30,±300μm
|
0.1-5 0.25-0.5 0.5-1 1-2 |
3 5 3 4 |
3 4 5 |
D D D D |
|
|
测微仪检定器 1μm测微计 2μm测微计 5,10μm测微计 |
|
0.1 0.5 1 2-2.5 |
3 4 5 |
2 4 5 |
D D D D |
|
|
1μm测长机 |
0-±100μm 0-1,2,3,6m |
0.2-0.25 0.5+10ι |
2 3 |
3 |
D D |
|
|
1μm立式测长仪 1μm卧式测长仪 |
0-100 0-100 |
1+10ι 1+5ι |
3 3 |
|
D D |
|
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千分表检定仪 百分表检定器 工具显微镜 气动浮标式测量仪 气动指针式测量仪 |
0-1,0-1 0-25 0-2 0.014-0.09 0.05-0.4 |
0.8-1.5 4 0.6 0.4-2 1 |
3 4 3 3 3 |
|
D D D D D |
|
|
杠杆千分尺校对量杆 0级千分尺校对量杆 1级千分尺校对量杆 公法线千分尺校对量杆 |
25-75 25-75 25-475 25-125 |
0.5 1-1.5 2-5 2-2.5 |
3 4 4 4 |
|
|
C C C C |
|
0.010级千分尺 0.011级千分尺 0.01深度千分尺 0.01带表千分尺 0.01板厚千分尺 0.01壁厚千分尺 0.01内侧千分尺 |
0-100 0-500 0-150 0-100 0-25 0-25 -50 |
2 4-10 5-10 3 4-8 8 8 |
4 5 5 4 5 5 5 |
D D D D D D D |
|
| |
内侧千分尺校对量具 10μm内径千分尺 1,2μm杠杆千分尺 公法线千分尺 2μm杠杆式卡规 5μm杠杆式卡规 10μm百分表式卡规 |
50-5000 0-100 0-150 0-150 0-150 0-150 0-1000 |
3 6-70 2-6 5-6 1-2 2.5-5 10-25 |
4 5 3 4,5 5 4 5 |
|
D D D D D |
C C
|
|
0.01,0.02带表游标卡尺 0.05带表游标卡尺 0.02游标卡尺 0.05游标卡尺 0.1游标卡尺 0.05游标高度尺 0.1游标高度尺 |
0-300 0-300 0-1000 0-1000 0-1000 0-2000 0-2000 |
20 50 20-70 50-125 100-150 50-200 100-250 |
6 6 6 6 6 6 6 |
D D D D D D D |
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表中:R--量程,除已标明的以外,其余计量单位为(mm);
△--示值误差(μm);
O--检定该示值误差时应采用标准量块的等别;
OS--采用多于1对并按串列方式组合的量块用作示值误差检定时应选量块的等别;
ι--示值误差△公式中被测长度(m);
A--示值误差△公式中被测与标准两者长度之差在仪器上的读数值(μm);
n--示值误差△检定时,受检间隔在仪器标尺上读出的格数;
i--示值的分度值(μm/格);
△λ--滤光片波长的测量误差(μm);
λ--滤光片波长(μm);
D--直接测量方式;
C--比较测量方式;
M--直接和比较混合的测量方式。
四、长度计量器具(量块部分)检定系统框图
图中符号说明:
Ur--测量结果总的相对不确定度(置信限);
U--测量结果总的{jd1}不确定度或称总不确定度(置信限)(μm);
△--示值误差(μm);
ι--被测的长度(m)。
注:1、除标明单位的以外,框图内量程的单位均为(mm);
2、没有被列入本检定系统的计量器具,只要符合规定的要求都可以使用。