| 【中文篇名】 | 对道纹不规则工件的表面光洁度测量原理的解释 |
| 【作者】 | 徐真善; |
| 【作者单位】 | 上海机械学院精仪系; |
| 【文献出处】 | 计量技术 , Measurement Technique, 编辑部邮箱 1981年 12期 期刊荣誉：ASPT来源刊 中国期刊方阵 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 直视分光镜; 不平度; 干涉场; 干涉显微镜; 测量原理; 测微目镜; 不规则; 工件表面; 入射狭缝; 显微轮廓仪; |
| 【摘要】 | <正> 研磨、抛光或电火花方法加工后的工件,表面道纹非常混乱或呈粒状,没有一个可取的道纹方向。用于涉显微镜测定其光洁度较为困难,需要使用显微轮廓仪。所谓显微轮廓仪,它和干涉显微镜的区别仅在于用小型直视分光镜代替后者中的测微目镜。国产的6JA型干涉显微镜是附有直观分光镜的(但在某些书刊 |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:JLJS.0.1981-12-002 |
| 【更新日期】 | 2006-08-10 |
| 【正文快照】 | 研磨、抛光或电火花方法加工后的工件,表面道纹非常混乱或呈粒状,没有一个可取的道纹方向。用干涉显微镜测定其光洁度较为困难,需要使用显微轮廓仪。所谓显微轮廓仪,它和于涉显微镜的区别仅在于用小型直视分光镜代替后者中的测微目镜。国产的6JA型干涉显微镜是附有直观分光镜的 |
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