电视机行输出管D7312C钝化工艺设计
| 【中文篇名】 | 电视机行输出管D7312C钝化工艺设计 |
| 【作者】 | 阮震翔; |
| 【作者单位】 | 杭州半导体厂; |
| 【文献出处】 | 半导体技术 , Semiconductor Technology, 编辑部邮箱 1984年 04期 期刊荣誉：中文核心期刊要目总览 ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
| 【中文关键词】 | 钝化工艺; 半导体器件; 行输出管; 金属化; 直流溅射; 双层介质; 有机硅; 聚硅; 电视机; |
| 【摘要】 | 本文叙述电视机行输出管D7312C在制造过程中.采用Si-SiO_2-PSG双层介质结构作为金属化前的钝化膜; Si-SiO_2-有机硅双层介质结构作为金属化后的钝化膜; GD406单组份室温硫化硅橡胶作为内涂料保护键压点和芯片表面; {zh1}采用金属壳气密性封装的工艺设计.D7312C的可靠性指标获得了较为满意的结果. |
| 【DOI】 | CNKI:SUN:BDTJ.0.1984-04-007 |
| 【正文快照】 | ‘ ’ 一、前 言一随着我国广播电视工业的迅速发展,’电视机专用功率晶体管的产量已在半导体分立器件的总产量中占有相当的比重。目前,对于电视机不仅要求电、声、光具有良好的性能,而且对机器的可靠性提出越来越高的要求。如黑白电视机的MT’BF’(平均失效时间)要求达到5000小 |
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