离子探针仪器的分类
整理了通常把离子束斑大于10μm 以上的,称为非成像宏观探针(nonimaging macroprobes) ;把离子束斑小于10nm 的称为离子微探针(microprobes)。
离子探针仪器的四个分类和应用:就成像技术而言,可分为扫描型离子微探针(scanning ion microprobes) 和摄像型离子探针。前者的一次离子束斑直径较小,(φ≤1μm),并在样品上扫描,类似于扫描电镜(SEM)和扫描俄歇微探针(SAM),也叫离子微探针。中国卖仪器网后者是一次离子束斑较大(φ~300μm ) ,并静止不动,而二次离子光学(secondary ion optics)扫描成像,也叫离子显微镜(ion microscope),空间分辨率~0.2μm 。
在离子探针迅速发展中,要说明或列出所有不同的仪器是不可能的。概括地说,把其可以分为以下几类。
1.非成像离子探针
2.离子显微镜
3.扫描离子微探针
4.图像解剖离子探针(image dissecting ionprobes)
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