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水晶加工

从人工水晶棒(尺寸:30*30*210mm)加工到最终的水晶晶片(2.0*1.4*0.065mm)需要一套复杂的工艺流程。

今天在这里只想聊聊水晶的加工方法.

水晶的加工方法根据加工原理来看一般可分为化学加工和物理加工两种。

化学加工:通过氟化氢水溶液与水晶产生反应,从而对水晶进行加工。

            SiO2 (水晶)+ HF → H2SiF6 +  H2O

物理加工:通过硬度比水晶大的金刚石刀具进行切割加工,或用游离态的研磨液(SIC,AL2O3等)对水晶进行切割或对水晶表面进行处理。(一般使用的设备有研削机,线切割机及研磨机等)

[参考数据:

水晶的莫氏硬度为7.0

金刚石的莫氏硬度为10.0

刚玉(AL2O3)的莫氏硬度为9.0

碳化硅的莫氏硬度为9.5]

 

现在被广泛使用的水晶片的加工流程为先使用物理加工方法使水晶片大体成形,然后通过对水晶片的尺寸进行微调整加工。

随着水晶片小型化,高精度的要求,产生了类似于生产半导体晶圆的加工流程;在这些流程中蚀刻(氟化氢)加工取代了一部分传统的物理加工。

 

BIGHEAD

2010-03-03

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