真空选型 选用真空时，需要注意下列事项： 1、真空的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：真空镀膜要求1×10 -5 mmHg的真空度，选用的真空的真空度至少要5×10 -6 mmHg。通常选择的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。 2、正确地选择真空的工作点。每种都有一定的工作压强范围，如：扩散为10 -3 ~10 -7 mmHg，在这样宽压强范围内，的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为5×10 -4 ~5×10 -6 mmHg。因而，的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10 -8 mmHg下长期工作。又如钛升华可以在10 -2 mmHg下工作，但其工作压强应小于1×10 -5 mmHg为好。 3、真空在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。 4、正确地组合真空。由于真空有选择性抽气，因而，有时选用一种不能满足抽气要求，需要几种组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子，（或二极型非对称阴极溅射离子）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。 5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以选择有，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。 6、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。 7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。 8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。 9、真空泵的价格、运转及维修费用。 水环式真空泵的选择 一、泵类型的确定 泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。 泵工作时，需要注意以下两个方面： 1.尽可能要求在高效区内，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域内运行。 2.应避免在{zd0}真空度或{zd0}排气压力附近运行。在此区域内运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之内运行，往往还会发生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵内有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏，以致泵无法工作。 根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时，可优先在单级泵中选取。如果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果真空度要求在－710mmHg以上，可选用水环－大气泵或水环－罗茨真空机组作为抽真空装置。 如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。 如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵比较合适。因为双作用泵的气量大，体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的使用寿命较长。 二、根据系统所需的气量选择真空泵 初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。 关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照： 。 |
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