【中文篇名】 | 扫描电子显微镜的基础 |
【作者】 | 丸势进; 毛晓禹; |
【文献出处】 | 兵器材料与力学 , [英文刊名], 编辑部邮箱 1981年 Z1期 期刊荣誉:ASPT来源刊 CJFD收录刊 |
【中文关键词】 | 扫描电子显微镜; 透射电子显微镜; |
【摘要】 | <正> Knoll等人于1935年曾进行过扫描电子显微镜(简称SEM)的实验,而至今广泛使用的普通透射电子显微镜(简称CEM)系由Ruska等人于1933年创制,故可以说SEM和CEM诞生于同一时期。但是,此后电子显微镜的研究主要致力于正> |
【DOI】 | CNKI:SUN:BCKG.0.1981-Z1-013 |
【正文快照】 | 声[,叁甲 71日 Knoll等人于1935年曾进行过扫描电子显微镜(简称SEM)的实验,而至今广泛使用的普通透射电子显微镜(简称CEM)系由Ruska等人于1933年创制,故可以说sEM和CEM诞生于同一时期。但是,此后电子显微镜的研究主要致力于提高分辨率上,而sEM因在电子线路技术上问题很多,故把 |