白光干涉仪及技术方案提取实例

  白光干涉仪是一种对光在两个不同表面反射后形成的干涉条纹进行分析的光学php?name=%D2%C7%C6%F7" onclick="tagshow(event)" class="t_tag">仪器，它通过不同光学元件形成参考光路和检测光路来工作，在TFT产业、半导体产业、MEMS产业、高效科研、微机电系统、生物医学工程以及精密加工等众多领域得到广泛应用。
科技在白光干涉仪等电子产品电路板PCB抄板、芯片解密、、全套克隆等技术研究领域拥有一系列技术成果，本文我们将对其中某白光干涉仪做简单介绍，供大家参考借鉴。
该白光干涉仪采用增加相位扫描干涉技术，是专为准确测量表面轮廓、粗糙度、台阶高度和其他表面参数而设计的微纳米测量系统,。
　　白光干涉仪产品特点
　　1、非接触式测量：避免物件受损。
　　2、三维表面测量：表面高度测量范围为1nm-200μm。
　　3、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。
　　4、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm,。
　　5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。
　　6、扫描仪：采用闭环控制系统。
　　7、工作台：气动装置、抗震、抗压。
8、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。
　白光干涉仪技术参数：



 
   
    
    工作台
    
    
    尺寸
    
    
    250 mm×174 mm
    
   
   
    
    倾斜度
    
    
    ±3 °
    
   
   
    
    测量行程
    
    
    X:150mm  Y:100mm
    
   
   
    
    Z轴行程
    
    
    50mm
    
   
   
    
    运动方式
    
    
    手动
    
   
   
    
    扫描速度
    
    
    30μm/sec
    
   
   
    
    垂直分辨率
    
    
    0.1nm
    
   
   
    
    CCD
    
    
    黑白CCD， 640×480 像素
    
   
 



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