硅片超声波清洗技术-博尔超声波清洗机
在半导体材料的制备过程中,每一道工序都涉及到清洗,,而且清洗的好坏直接影响下一道工序,甚至影响器件的成品率和可靠性.由于ULSI集成度的迅速提高和器件尺寸的减小,对于晶片表面沾污的要求更加严格,,ULSI工艺要求在提供的衬底片上吸附物不多于500个/m2t0.12um,金属污染小于 1010atom/cm2.晶片生产中每一道工序存在的潜在污染,都可导致缺陷的产生和器件的失效.因此,硅片的清洗引起了专业人士的重视.以前很多厂家都用手洗的方法,这种方法人为的因素较多,一方面容易产生碎片,经济效益下降,另一方面手洗的硅片表面洁净度差,污染严重,使下道工序化抛腐蚀过程中的合格率较低.所以,,硅片的清洗技术引起了人们的重视,找到一种简单有效的清洗方法是当务之急.本文介绍了一种超声波清洗技术,其清洗硅片的效果显著,是一种值得推广的硅片清洗技术.
硅片表面污染的原因
晶片表面层原子因垂直切片方向的化学键被破坏而成为悬空键,形成表面附近的自由力场,尤其磨片是在铸铁磨盘上进行,所以铁离子的污染就更加严重.同时,由于磨料中的金刚砂粒径较大,造成磨片后的硅片破损层较大,悬挂键数目增多,极易吸附各种杂质,如颗粒、有机杂质、无机杂质、金属离子、硅粉粉尘等,造成磨片后的硅片易发生变花、发蓝、发黑等现象,使磨片不合格.硅片清洗的目的就是要除去各类污染物,清洗的洁净程度直接决定着ULSI向更高集成度、可靠性、成品率发展,这涉及到高净化的环境、水、化学试剂和相应的设备及配套工艺,难度越来越大,可见半导体行业中清洗工艺的重要性.