Advanced Energy (AE) 的 Pinnacle® Plus+ 电源为单体直流脉冲电源，为您的反应工艺提供脉冲直流电解决方案所有优点，包括使用简单、节约成本以及具有{jj1}的灵活性。结合标准直流电技术和经过工艺证明的脉冲直流电技术，Pinnacle Plus+ 电源与复杂而昂贵的交流电解决方案相比，沉积率更高，重复性能更好，薄膜质量更为优异。 优势: ●更高的沉积率与产品率 ●薄膜均匀性和品质{yl} ●成弧造成的基材损坏减少 ●成本更低 ●系统整合容易 ●{jj0}的工艺灵活性和宽容度 ●重复性能 ●在过度曲线上运行稳定 ●吞吐量更高 ●便于监控 ●无与伦比的系统灵活性 特点: ●一个紧凑型封装 ●频率调节范围为 5-350kHz ●占空比高达45% ●电压范围宽——单输出宽阻抗范围 ●大功率运行 ●基材温度低 ●单输出（5kW 和 10kW 型号） ●用于双阴极生产的双输出（双路5kW 型号） ●{jj1}的弧控制 ●反应性溅射闭环控制
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