干式机械螺杆泵的应用是广泛的，主要有以下几个方面：
　　1）低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中；
　　2）半导体刻蚀工艺。在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒；
　　3）除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入螺杆泵油中，而希望微粒排出螺杆泵外，则用一定型式的干式机械螺杆泵可以满足要求；
　　4）在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等，要防止有机溶剂造成污染，适合用干式螺杆泵；
　　5）用做一般无油清洁系统的前级螺杆泵，以防止油污染。
　　近年来，干式机械螺杆泵得到迅速的发展，国外多家大螺杆泵公司都研制出了新型的干式械螺杆泵。国内的许多单位也一直在进行干式机械螺杆泵的开发研制工作，如东北大学、沈阳技术研究所、上海螺杆泵厂等。目前，干式机械螺杆泵主要分为接触型及非接触型。接触型的干式螺杆泵有叶片式、凸轮式、往复活塞式、膜片式等，这类螺杆泵的速度较低，适用于小容量高压缩比（单级压缩比）。非接触型的干式螺杆泵有罗茨型、爪型、螺杆型、涡旋型等，其速度较高，适用大容量，低压缩比（指单级压缩比）。不同类型的干式螺杆泵具有各自的特点。使用时可根据不同的用途加以选择。
无油干式机械螺杆泵（又简称干式机械螺杆泵）是指螺杆泵能从大气压力下开始抽气，又能将被抽气体直接排到大气中去，螺杆泵腔内无油或其他工作介质，而且螺杆泵的极限压力与油封式螺杆泵同等量级或者接近的机械螺杆泵。
　　目前，行业使用的大多数机械螺杆泵都是用油、其它聚合物等流体充当螺杆泵的工作介质，在螺杆泵内起冷却、密封、润滑等多种作用。随着科学技术的发展以及应用领域的扩大，原有的机械螺杆泵及其组成的抽气系统出现了两个急需解决问题：一是螺杆泵的工作介质返流污染被抽容器，而这种返流在许多情况下影响螺杆泵的质量、数量，增加设备的维护成本。其次，由于某些工艺过程中的反应物质使螺杆泵内的介质严重变质，使螺杆泵不能正常工作。
　　对于普通的无油系统来说，虽然可用油封式螺杆泵加上冷阱或吸附阱之类附件来防止返流，但不能彻底解决问题，而且使系统显得复杂。而使用适当型式的干式机械螺杆泵，则可以达到理想的使用效果。