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类百科：钛泵电源和除气机理

（1）对活性气体的抽除
     对N2、O2、CO和CO2等气体的排除主要靠淀积于阳极筒内壁上的钛膜的化学吸附。
     （2）对氢气的抽除
     对氢气的抽除有化学吸附，也有扩散、吸收、溶解作用。
     （3）对惰性气体的抽除
     对惰性气体的排除，主要靠离子“掩埋”，被电离的惰性气体的离子轰击阴极时，有以下三种情况：
     a、离子直接打入阴极内，或打入阴极边缘对面的阳极板上的钛淀积层内；
     b、斜射的离子切入阴极表面，离子和钛一起被掀掉而沉积在阴极板的周围或其它地方；
     c、离子没有打入板内，但是从阴极得到电子而复合为中性原子，然后又反射到阳极内表面的钛膜中。
     钛电源
　　钛泵的电源是高内阻电源，其空载输出电压在3~7KV间，但负载电流大时，输出电压降至400V左右。一般溅射使用5KV倍压整流电源。可以用流过钛泵阴阳极的放电电流反映所抽空间的真空度。溅射离子泵在额定电压与磁场强度下的放电电流Iion（mA）与压强P（Torr）有一定的曲线关系。所以通过离子泵电源可反映出压强的大小。

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