2010-06-13 17:02:02 阅读4 评论2 字号:大中小
车用吸尘器特点:
3、吸拾灰尘、干性物质。
4、在好的状态下,通常可使用半小时,并且对于车子的电池无影响
1、插入直流12V的汽车点烟器即可使用。
2、过滤袋可以水洗,重复使用。
一、洁净室与静电分析
1、洁净室
半导体、平面液晶显示器、光电子和生物医药都需要洁净的生产车间,通常洁净室是指空间空气悬浮粒子浓渡被控制在规定界限内的房间或限定空间,这尘埃粒子的粒径越小和被限定的粒数越小,洁净度便越高。
2、洁净室的静电
由于洁净室的洁净度要求,室内使用
③空调气流经过初效过滤器、中效过滤器、高效过滤器,净化出口气流是带静电的。铝板送风口、回风口约为500~1000V。
①大量的高绝缘介质装饰材料、地面、墙、门、顶棚、隔断、工作台、椅子等等,这些材料摩擦容易起电带电,不易泄漏释放。
光刻间塑料地面500V~1000V,扩散间塑料地面500V~1500V,瓷砖地面也有500V~1500V,塑料墙纸700V,塑料顶棚OV~1000V,金属活动皮芏椅面500V~3000V。
④大量的绝缘器材、装备和工具,也是重要的静电电荷源。晶片装配生产线:晶片装料盒35KV,有机玻璃盖8KV,石英制品1.5KV,晶片托盘6KV,丙烯酸脂盖20KV,台桌面10KV,塑料存贮柜30KV,玻璃纤维晶体载料盒滑过聚丙烯桌面带10KV。
②人穿洁净工作服、鞋、步行或工作时,与不同物质设备器材摩擦要产生静电,人、衣服、鞋都会带电。
人穿尼龙衣、塑料胶底鞋缓慢地在清洁的地板上走动,人身上带7000V~8000V静电压。在乙烯基地板上行走可带1200V(10%~20%RH)、250V(65%~90%RH)静电压,在地毯上行走可带35000V(10%~20%RH)、1500V(65%~90%RH),晶片装配线工人穿的工作服可达10KV。
总之:洁净室的洁净度要求越高,静电带电便越严重。
二、洁净室静电的危害
1、静电库仑力
在静电库仑力的作用下,吸附的粉尘、污物造成元器件增大泄漏或形成短路,使性能受损,成品率和可靠性大大下降。如粉尘粒径>100μm,铝线宽度约100μm,氧化膜厚度在50μm时,最易使产品报废。现在线径更细,氧化膜很薄,粒径很小的尘粒子就会损害元器件,这种情形多发生在腐蚀清洗、光刻、点焊和封装等工艺过程中。
2、静电放电ESD
一般说器件绝缘栅SiO2薄膜的耐压场强是E=(5-10)×106V/cm,如果器件SiO2膜厚度取1000,其器件输入脚施加50V-100V以上的静电压就将会被击穿,而人体带静电超过50V、100V是极平常的。
(2)造成噪声、发射电磁波干扰
ESD引起EMI其电磁波的前后峰较尖,信号强,相当于电路中几伏的能量,频率跨越几MH2甚几百MH2的强大噪声,可能引起元器件损坏,设备和传感器不正常工作,甚至引起设备死机。
ESD引起的EMI还会引发错误信号的输入,或发生锁存现象。如无尘室中,将晶圆片的EMIF箱放在钢的手推车上,晶圆片的ESD会通过电感传给手推车,车轮是绝缘的,则EMI的扩散会引起晶圆片处理机死机。
(1)元器件的绝缘氧化膜被击穿,引线被烧断或线间熔断。若人体带上10KV(100PF)的静电荷,触摸器件脚时发生ESD,其向大地瞬间形成脉冲放电电流峰值可达20A(10~100s),不要说高密度,细线径,薄SiO2膜的Lsi、Vlsi,就是一般IC、MOS都会遭受损坏。