计算全息图 CGH 作为零位补偿器广泛应用于高精度非球面的检测, 但 CGH 的基底误差直接限制了非球面的检测精度. 某制造商为了获得超高精度的 CGH 基底, 采用 KRI 考夫曼 RFICP220 产生的离子束用于修正高精度 CGH 基底的加工工艺.
伯东 KRI RFICP 220 技术参数:
|
型号 |
RFICP 220 |
|
Discharge |
RFICP 射频 |
|
离子束流 |
>800 mA |
|
离子动能 |
100-1200 V |
|
栅极直径 |
20 cm Φ |
|
离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
|
流量 |
10-40 sccm |
|
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
|
典型压力 |
< 0.5m Torr |
|
长度 |
30 cm |
|
直径 |
41 cm |
|
中和器 |
LFN 2000 |
* 可选: 灯丝中和器; 可变长度的增量
运行结果：
1. KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 产生的离子束修正工艺作为一种非接触式确定性光学加工方法, 不仅不会对元件表面施加作用力, 而且还具有加工精度高、去除函数稳定、面形收敛速度快、无边缘效应和亚表面损伤等特点, 非常适用于高精度 CGH 基底的加工.
2. 应用离子束修正高精度 CGH 基底的加工工艺具有较大优势, 不仅具有较高的加工效率而且可以获得超高的加工精度
伯东是德国 , , , , 美国 , 美国, 美国 , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯东版权所有, 翻拷必究!
