上海某大学研究中心采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380 辅助制备三维原子探针样品, 主要是对三维原子探针样品进行蚀刻, 使样品变薄
伯东 KRI 射频 RFICP380 技术参数:
射频型号 |
RFICP380 |
Discharge 阳极 |
射频 RFICP |
离子束流 |
>1500 mA |
离子动能 |
100-1200 V |
栅极直径 |
30 cm Φ |
离子束 |
聚焦, 平行, 散射 |
流量 |
15-50 sccm |
通气 |
Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他 |
典型压力 |
< 0.5m Torr |
长度 |
39 cm |
直径 |
59 cm |
中和器 |
LFN 2000 |
运行结果:
1. 采用 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380可以克服锆合金脆断的问题
2. 制备得到的样品满足了三维原子探针观察样品的要求
3. 可实现三维原子探针样品的快速, 便捷, 制备
伯东是德国 , , , , 美国 , 美国HVA 真空阀门, 美国 , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式:
上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
伯东版权所有, 翻拷必究!