KRI 考夫曼聚焦射频离子源 RFICP380 辅助制备原子探针样品

上海大学研究中心采用伯东 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380  辅助制备三维原子探针样品主要是对三维原子探针样品进行蚀刻使样品变薄

 

伯东 KRI 射频 RFICP380 技术参数:

射频型号

RFICP380

Discharge 阳极

射频 RFICP

离子束流

>1500 mA

离子动能

100-1200 V

栅极直径

30 cm Φ

离子束

聚焦平行散射

流量

15-50 sccm

通气

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

典型压力

< 0.5m Torr

长度

39 cm

直径

59 cm

中和器

LFN 2000

 KRI 考夫曼离子源 RFICP 380

运行结果:

1. 采用 KRI 考夫曼射频离子源 FRICP380可以克服锆合金脆断的问题

2. 制备得到的样品满足了三维原子探针观察样品的要求

3. 可实现三维原子探针样品的快速便捷制备

 

伯东是德国  , , , , 美国  , 美国HVA 真空阀门美国  , 美国 Ambrell 和日本 NS 等进口品牌的指定代理商.

 

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