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供应美国等离子去胶清洗机(美国PE公司)，产品xxx极高，操作简单，

 

工艺稳定性好。针对不同的工艺尺寸，分为三个型号。

  

型号一： PE50      用于4英寸工艺

 

Remarks:

 

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 6”*6”*4”

 

n     Electrode Configuration, Silngle 5”*5” Horizontal

 

n     RF Generator & Matching Network 125W, 50KHz

 

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

 

     Control, 0~25 CC/min

 

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

 

n     Vacuum Pump, 5 CFM, Oxyger Service

 

n     Process Sequence, Single

 

n            AC Input 120V, 50Hz, 15A

 

 

 

 

型号二：PE100      用于8英寸工艺

 

Remarks:

 

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 12”*12”*12”

 

n     Electrode Configuration, Three 9”*9” Horizontal

 

n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

 

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

 

     Control, 0~50 CC/min

 

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

 

n             Vacuum Pump, 8 CFM, Oxyger Service

 

 

型号三：PE200      用于12英寸工艺

 

Remarks:

 

n     Vacuum Chamber, Aluminum, Rectangle, 17”*14”*14”

 

n     Electrode Configuration, Three 13”*13” Horizontal

 

n     RF Generator & Matching Network 300W, 13.56MHz

 

n     1~2 Gas channels W/Precision Needle Valve Flow

 

     Control, 0~200 CC/min

 

n     Vacuum Gauge, 0~1Torr

 

n     Vacuum Pump, 29 CFM, Oxyger Service

 

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