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无尘烤箱技术指标
1.产品特点：
◆内、中桶材质采用SUS304＃无磁性镜面不锈钢，外膛采用SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆，可防止微尘(PARTICLE) ；
◆全周氩焊，耐高温硅胶迫紧，SUS304＃不锈钢电热产生器，防机台本身产生PARTICLE；
◆耐高温，能有效过滤微尘而达到洁净等级class100＃；
◆叠层组合式，减少场地占用面积，效率高。
2.无尘烤箱适用范围：LCD、CMOS、IC制程烘烤。
3.无尘烤箱技术参数：
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型 号
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SPQ3-80
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SPQ3-100
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SPQ3-150
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内部容积
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80L
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100L
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125L
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内部尺寸
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50×40×40
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50×45×45
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50×50×50
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内尺寸表示为：W×H×D 宽×高×深 单位：cm
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功率(KW)
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3.0
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3.5
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4.0
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系 统
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PID智能调节或可编程PID自动调节
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温度范围
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RT+10℃～200℃
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温度偏差
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±1.0℃
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波 动 度
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±0.5℃
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洁 净 度
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100级
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内体材料
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SU304不锈钢板
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外箱材料
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SU304不锈钢板或防锈处理冷轧钢板（喷塑）
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保温材料
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超细玻璃棉
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加 热 器
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镍铬合金电热式加热器
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循环系统
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轴流风机
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控制系统
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高精度微电脑型LED显示温度控制器或LCD显示温度控制器
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标准配置
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样品架2层、电源线1条
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可选配置
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测试孔（￠25m位于门上)、增加的样品架
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注：另外可按照客户需求尺寸定做产品。