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用于制取磷酸二苯一异辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯，塑料增塑剂等。还可用作染料中间体，有机合成的氯化剂和催化剂、阻燃剂。电子级三氯氧磷的用途在太阳能行业，集成电路，分离器件，光线预制棒等液态磷源也可制备磷酸酯。