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标准型真空直线导入器是超高真空环境下直线传输样品的重要装置;该真空直线导入器的真空密封采用高品质的焊接波纹管进行轴向密封,保证十万次以上的循环使用,轴向驱动力可达到150N,在保证超高真空密封的同时,通过手动调节手轮,实现高精度的直线驱动,xx位置控制,也可和步进电机(本产品采用闭环伺服步进电机)组合,实现电控操作性能,具有控制精度高、传动平稳、恒力矩等特点;本产品采用精密丝杆实现无间隙传动,重复定位精度高,传动精度{zg}可达到0.01mm(默认精度为0.02mm);可根据客户的具体规格和应用来定制不同驱动长度、不同连接方式和驱动精度。
主要参数
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适用范围:
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105~5x10-7Pa
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真空漏率:
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≤1x10-9Pa.m3/s
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适用温度:
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-30~200℃
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驱动方式:
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手动或电机驱动
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驱动方向:
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直线
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安装状态:
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任意方向
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连接方式:
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CF法兰或客户指定
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主要材料
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不锈钢304
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