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ATH 1603 M，对氮气的抽速最 高可达 1400 l/s，水冷。外部分子泵驱动电路。可以安装在任 何方向。CE标志和通过无铅认证。核心科技是五轴控制全磁浮轴承，免维护，无需润滑，保证内部清洁无油。全磁浮轴承保证了转子的稳定性，在高速运转过程中无摩擦，无磨损，低噪音低振动，可延长的使用寿命。
ATH 1603 M 多种配置可选 满足不同需要：
1.两种接口：DN 200/250
2.两种密封方式：ISO-F/CF-F
3.另有可远程控制款供客户选择
ATH 1603 M 技术参数：
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轴承
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五轴控制全磁浮轴承
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转速
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39000 min-1
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对氮气的压缩比
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> 1 · 10 8
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最 大进气压力N2
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1.7 hPa
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对氮气的抽速
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1400 l/s--1600 l/s
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启动时间
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< 6 min
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极限真空度
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< 6 · 10-9 hPa
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重量
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34 (分子泵) + 8(分子泵电源控制器) kg
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ATH 1603 M 对不同气体的抽速：
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ATH 1603 M 尺寸图：
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全磁浮分子泵在售型号(中文资料)
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