HiPace 400
上海伯东销售维修德国普发 Pfeiffer HiPace 400, 紧凑设计, 抽速可达到 355 l/s 紧凑有力的, 进气法兰 DN 100, 通过保护等级 IP54, 半导体 S2, UL / CSA 认证. 涡轮分子泵 HiPace 400 高抽速和最 大压缩比, 集成驱动电路, 适用于工业环境和实验研究. 通过控制器监控运算数据保证的安全性. 涡轮 HiPace 400 可选风冷或水冷.
HiPace 400 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
HiPace 400 技术参数
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分子泵型号
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接口 DN
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抽速 l/s
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压缩比
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最 高启动压强mbar
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极限压力
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全转速气体流量hPa l/s
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启动时间
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重量
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进气口
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排气口
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氮气
N2
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氦气He
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氢气 H2
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氮气
N2
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氮气N2
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hPa
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氮气N2
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min
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kg
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HiPace 400
HiPace 400 P
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100
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25
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355
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470
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445
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> 1X1011
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11
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< 1X10–7
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6.5
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2
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11.6 – 17.5
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HiPace P 系列, 因其能抵抗工业粉尘和微小粒子而广泛应用于工业领域
HiPace 400: 广泛应用于各个真空行业
镀膜: 光伏, CD/ DVD/ PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 小型质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯东客户一：HiPace 80, HiPace 400 用于分子束外延 MBE, 主要针对金属薄膜及材料器件的氧化物外延生长.
HiPace 400 尺寸图：
HiPace 400 目前在售型号:
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上海伯东 Pfeiffer 抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最 高 90,000 rpm, 极限真空最 大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 运行时间可以达到 100,000 小时! 提供复合轴承和五轴全磁浮二大系列满足不同应用, 推荐搭配 和共同使用.