HiPace 700
上海伯东德国普发 Pfeiffer HiPace 700. HiPace 700 对氮气抽速可达到 685 l/s, 紧凑设计, 低能耗的同时保证更高抽吸能力.
HiPace 700 占地面积小, 任意位置安装. 适用于工业环境-保护等级 IP 54, 通过半导体 S2, UL / CSA 认证. 通过控制器监控运算数据, 集成风冷.
HiPace 700 可选分子泵控制器 TC 400/TCP 350, 多种密封方式和配件供选择, 上海伯东可协助客户选型并提供完善的售后维修服务.
HiPace 700 特性
稳健性工业设计和经过实践证明的高可靠性分子泵轴承系统
结构紧凑, 满足更小的安装空间要求
分子泵高气流量和高抽速
基本款任意角度安装
防护等级 IP 54, 符合工业环境要求
可应用于腐蚀性气体工艺
分子泵通过 SEMI S2 和 UL 认证
HiPace 700 技术参数
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进气口
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DN 160
ISO-K
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DN 160
CF-F
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DN 160
ISO-F
|
DN 160
ISO-K
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DN 160
CF-F
|
DN 160
ISO-F
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图片
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分子泵控制器
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型号
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标配
TC 400
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标配
TC 400
|
标配
TC 400
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选配
TCP 350
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选配
TCP 350
|
选配
TCP 350
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抽速
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Ar L/S
|
665
|
665
|
665
|
665
|
665
|
665
|
|
H2 L/S
|
555
|
555
|
555
|
555
|
555
|
555
|
|
He L/S
|
655
|
655
|
655
|
655
|
655
|
655
|
|
N2 L/S
|
685
|
685
|
685
|
685
|
685
|
685
|
|
压缩比
|
Ar
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
1X1011
|
|
H2
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
4X105
|
|
He
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
3X107
|
|
N2
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
>1X1011
|
|
全转速时气体流量
|
Ar hPa l/s
|
3.5
|
3.5
|
3.5
|
1.5
|
1.5
|
1.5
|
|
H2 hPa l/s
|
>14
|
>14
|
>14
|
>8
|
>8
|
>8
|
|
He hPa l/s
|
20
|
20
|
20
|
5
|
5
|
5
|
|
N2 hPa l/s
|
6.5
|
6.5
|
6.5
|
3
|
3
|
3
|
|
极限压力
|
hPa
|
＜1X10-7
|
＜5X10-10
|
＜1X10-7
|
＜1x10-7
|
＜5x10-10
|
＜1x10-7
|
|
最 大预抽真空
|
N2 hPa
|
11
|
11
|
11
|
11
|
11
|
11
|
|
电压
± 5 %
|
VDC
|
48
|
48
|
48
|
48
|
48
|
48
|
|
最 大电流
|
A
|
8.4
|
8.4
|
8.4
|
8.75
|
8.75
|
8.75
|
|
转速± 2 %
|
RPM
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
49200
|
|
声噪
|
dB(A)
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
≤50
|
|
允许最 大磁场
|
mT
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
|
6
|
|
启动时间
|
min
|
2
|
2
|
2
|
5.5
|
2.5
|
2.5
|
|
重量
|
kg
|
11.5
|
17.4
|
12.1
|
10.6
|
16.5
|
10.6
|
* 控制器选择 TCP 350, 可以使分子泵在辐射环境中使用
* P 系列: 耐粉尘
* PLUS 系列: 极微振动,杂散磁场低
* : 更高的压缩比,尤其适用于轻质气体
Pfeiffer HiPace 700 套装:
上海伯东提供完整的分子泵套装供您选择, 包含一台 HiPace 700 分子泵主机和控制电源等, 分子泵套装满足基本的应用, 可以安装在所有情况下并轻松调试涡轮分子泵. 套装内配置如下:
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分子泵
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分子泵电源与控制器连接线
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风扇
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OmniControl 400
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接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
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接口电缆, M12 m 直型/M12 m 直型, 3 m
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HiPace 700
镀膜: 光伏, CD / DVD / PVD, 光学镀膜, 硬质涂层
工业: 医学技术, 工业检漏, 电子束焊接, 隔离真空, 热处理, 灯管制造
研发: 核研究, 等离子研究, 粒子加速器, 冷冻研究, 纳米技术, 生物技术
分析仪器: 质谱, 表面分析, 残余气体分析
半导体: PVD, CVD, Beamline, Inspection, MBE, Loard-Locks
上海伯东 Pfeiffer 涡轮分子泵抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最 高 90,000 rpm, 极限真空最 大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 涡轮分子泵运行时间可以达到 100,000 小时! 普发分子泵提供复合轴承分子泵和五轴全磁浮分子泵二大系列满足不同应用, 推荐搭配 Pfeiffer 旋片泵和干泵共同使用. 推荐分子泵典型应用 >>