HiPace 1200-2800 IT
上海伯东销售维修 Pfeiffer HiPace 1200-2800 IT, 抽速范围 1200-2300 l/s 的全系列紧凑型复合轴承涡轮, 对小分子量气体 H2, He 和大分子量气体 Ar, CF4 都有很高的抽速. 由于这些分子泵通常在恶劣的工艺环境中使用, Pfeiffer 提供针对具体应用的定制解决方案: 例如, 用于抗腐蚀的 Kepla®涂层, 用于防止高压区域工艺沉积的温度管理系统, 以及在辐射下使用的外部电子设备.
HiPace 1200-2800 IT 特点
小分子气体的高压缩比
坚固的复合转子悬架
对工艺沉积的抵抗力强
带节流阀和阀门的集成净化气体系统
可用于带有外部电子设备的抗辐射泵
温度管理系统
标准认证 SEMI S2, UL, CSA 和 TÜV
防护等级 IP54 符合工业环境应用要求
适用于各种严苛工艺如刻蚀, 溅镀, 耐粉尘
HiPace 1200-2800 IT 技术参数：
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型号
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连接尺寸 DN
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抽速 l/s
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压缩比
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最 高启动压强hPa
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极限压力
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全转速气体流量hPa l/s
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启动时间
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重量
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进气口
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排气口
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氮气
N2
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氦气
He
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氢气 H2
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氮气
N2
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氮气N2
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hPa
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氮气N2
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min
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kg
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U
C
UC
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200
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40
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1250
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1300
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1100
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> 1X108
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2
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< 1X10–7
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20
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2.5
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27 – 40
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U
C
UC
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250
|
40
|
1400
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1350
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1150
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> 1X108
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2
|
< 1X10–7
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20
|
2.5
|
29 – 41
|
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U
C
UC
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200
|
40
|
1450
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1,650
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1700
|
> 1X108
|
1.8
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< 1X10–7
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20
|
4
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33 – 34
|
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U
C
UC
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250
|
40
|
1900
|
2,000
|
1850
|
> 1X108
|
1.8
|
< 1X10–7
|
20
|
4
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34 – 47
|
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IT
IUT
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250
|
40
|
2300
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2900
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2600
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> 1X108
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1.8
|
< 1X10–7
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18
|
4
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62
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HiPace: 凭借成熟和优化的轴承系统以及泵速和压缩比之间的良好组合, 标准的 HiPace 分子泵适用于所有类型的应用
HiPace C: 为腐蚀性应用而设计. 得益于转子上的 Kepla®涂层, HiPace C 分子泵对各种工艺化学品具有一定的抵抗力.
HiPace I: 专为离子注入工艺设计. 涡轮分子泵复杂的转子设计使小分子气体(氢气)的抽速得到了优化, 确保了离子注入工艺的最 佳工艺适应性.镍涂层转子确保了分子泵的坚固性.
HiPace T: 温度管理系统可以减少工艺沉积的数量. 通过提高高压区的温度, 可以减少冷凝现象. 该功能可与 C-版本（HiPace CT）相结合, 以提供对工艺化学品的耐腐蚀性以及对泵内工艺沉积的耐受性.
HiPace 1200-2300 l/s 应用领域：
1. 分析仪器 2. 半导体 3. 镀膜 4. 工业 5. 研发
上海伯东 Pfeiffer 抽速范围 10 至 2700 L/S, 转速最 高 90,000 rpm, 极限真空最 大 1E-11 mbar, 对小分子气体具有更高的压缩比, 实践证明 Pfeiffer 运行时间可以达到 100,000 小时! 提供复合轴承和五轴全磁浮二大系列满足不同应用, 推荐搭配 和共同使用.