上海伯东德国 , 内置两个传感器, 测量范围 5X10-9 至 1000 hPa, 耐一般性腐蚀, 坚固耐用, PKR 251 作为标准配件广泛应用于各类真空设备中.
应用于6寸碳化硅外延炉
上海伯东某客户生产 SIC 薄膜器件肖特基二极管和新能源汽车的 IGBT 器件. 选用 测量 6寸碳化硅外延炉设备中的石英真空腔室的真空度. 经过实践认证, 完 全符合工艺要求.
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技术参数
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型号
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接口
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测量范围
(空气, N2)
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最 大压力
（绝 对值）
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准确度
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可重复性
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输出信号（测量信号）
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电源电压
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PKR 251
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DN25 ISO-KF
DN40 ISO-KF
DN40 CF-F
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5X10-9 至 1000 hPa
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10000 hPa,
仅 限于惰性气体且温度 < 55 °C
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在 1X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 30 %
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在 1 X 10-8 至 100 hPa 范围内约为 ± 5 %
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电压范围
大约 0 V – 大约 +10.5 V
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在真空计处
15.0至30.0 V DC
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上海伯东 德国产品授权代理商, 销售维修普发 Pfeiffer 真空产品 20余年. 可协助客户选型并提供完善的售后维修服务. 拥有100% 原装进口维修设备和备品配件, 提供快速维修服务.
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