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CS-4探针台产品实拍图:
探针台
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特点
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类型
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规格
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*紧凑的结构,轻巧的重量;
*结构设计合理,经济实用;
*探针操作灵敏,直线度高;
*便于维护;
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Chuck(卡盘)
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尺寸:4英寸,圆形
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材质:不绣钢(可升级镀金)
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旋转角度:0-360°可带角度锁定,精度0.1°
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X-Y移动行程:4" x4",移动精度:10um(可升级为1um精度)
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吸附孔:中心孔径最小可做到250微米,最小可以吸住尺寸为0.3mmX0.3mm,{zd0}能够吸住尺寸为4"X4"
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整体规格
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U型设计,可放置4个xx探针座,中端最多8个探针座
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平整度:5um,平台特殊处理,使得探针座吸附更牢固
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尺寸:400mm长×380mm宽×480mm高(带显微镜)
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重量:30KG(带显微镜)
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选配:
* Z轴升降行程:5mm,卡盘快速升降,方便更换样品,不会碰触到其他已调试好器件;
* 卡盘镀金;
* 搭配射频探针;
* 视频CCD系统;
* 防震桌;
* 屏蔽箱;
* 加热系统;
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