探针台主要应用于传感器，半导体，光电，集成电路以及封装的测试。 广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。

   该探针台的承载台为26X26mm不锈钢台面，台面可升温到350℃。真空腔体设计有进气口和抽真空接口。探针臂为X/Y/Z三轴移动，三个方向均可在真空环境下精密移位调节，其中X方向调节范围：0-13mm,y方向调节范围：0-13mm；z方向调节范围：0-13mm；用户可根据需要自行调节。使用时将需检测的器件固定在加热台上，再微调探针支架X/Y/Z 方向行程，通过显微镜观察，使探针对准检测点后，即可进行检测

主要技术要求

1．    类型：高温型：室温～350℃ 低温型 -190℃:350℃   低温型：室温到-190℃

2．    腔体材质：304不锈钢

3．    腔体内尺寸：φ90x40mm

4．    腔体上视窗尺寸：Φ42mm（选配凹视窗Φ22mm）

5．    腔体抽气口：KF16

6．    腔体进气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

7．    腔体出气口：公制3mm 6mm气管接头 英制1/8mm 1/4mm 气管接头可选

8．    腔体正压：≤0.05MPa

9．    腔体真空度：机械泵≤5Pa （5分钟）  分子泵≤5E-3Pa（30分钟）

10．  样品台材质：304不锈钢

11．  样品台尺寸：26X26mm

12．  样品台-视窗 距离：30mm（可选凹视窗间距15mm）

13．  样品台测温传感器：A级PT100铂电阻

14．  样品台温度：室温到350℃（可选高低温样品台 高温350℃低温-190℃）

15．  样品台测温误差：±0.2℃

16．  样品台变温速率：高温10℃/min    低温5℃/min  大值

17．  温度显示：7寸人机界面

18．  温控类型：标准PID温控 +自整定（可选30段编程控温）

19．  温度分辨率：0.1℃

20．  温控精度：±0.5℃

21．  温度信号输入类型：PT100热电阻 （可选 K  S  B型热电偶）

22．  温控输出：直流线性电源加热（液氮流量线性控制液氮制冷）

23．  辅助功能：温度数据采集并导出  实时温度曲线+历史温度曲线

24．  电信号接头：配线转接 BNC接头   BNC三同轴接头  SMA 接头  香蕉插头  线长1.2米

25．  电学性能：绝缘电阻 ≥4000MΩ   介质耐压 ≤200V  电流噪声 ≤10pA

26．  探针数量：4探针（可定做6探针）

27．  探针材质：镀金钨针

28．  探针尖：10μm

29．  X轴移动行程：12mm    ±6mm

30．  X轴控制精度：≤5μm

31．  Y轴移动行程：12mm    ±6mm

32．  Y轴控制精度：≤5μm

33．  Z轴移动行程：12mm    ±6mm

34．  Z轴控制精度：≤5μm

35．  显微镜类别：物镜放大+电子放大

36．  显微镜放大倍数：100倍

37．  显微镜工作间距：50-150mm

38．  相机分辨率：1080P  60帧

39．  相机信号输出：HDMI输出+USB输出

40．  LED可调光源：LED光源

41．  显示屏：5寸 屏幕一体机

四：主要配置要求

1．1台 · KT-0904T-RL微型探针台一台

2．1台 · 触摸屏温控箱

3.  1个· 6mm聚四氟管

4.  1根  电源线

5:  2个  6mm金属内衬

6： 1根  触摸屏笔

7： 4个  SMA-香蕉插头

8： 1根  功率输出线

9:   6米  6mm水冷管

10： 1套  K型上盖扳手、备用螺丝，内六角

选配: 分子泵真空机组  机械泵