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斯坦福大学所展示的这一技术进步则标志着完整的工作电路已被创造出来,表明这种材料可能真的会达到人们的期望。
硅是一种普遍存在的自然元素,既可当做导体,也可当做绝缘体。硅芯片的生命周期相较计算机工程师原本的设想已经长了数十年,这是因为虽然晶体管的尺寸在一变小,但人们总有相应的先进工艺在上面蚀刻电路。
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抛光后,晶圆片要通过一系列清洗槽的清洗,这一过程是为去除表面颗粒、金属划痕和残留物。之后,要经常进行背面擦洗以去除的颗粒。这些晶圆片经过清洗后,将他们按照最终用户的要求分类,并在高强度灯光或激光扫描系统下检查,以便发现不必要的颗粒或其他缺陷。
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抛光(化学机械抛光,Chemical Mechanical Polishing) 生产过程中最重要的工艺是抛光晶圆片,此工艺在超净间中进行。超净间从一到一万分级,这些级数对应于每立方米空间中的颗粒数。
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