真空技术
作者=王晓冬等编著
页数=422
SS号=11741193
出版日期=2006年9月前言
目录
1 绪论
1.1 何为真空
1.2 真空度的表征及真空区域的划分
1.3 真空技术的历史回顾
1.4 不同真空状态下的真空工艺技术
1.5 真空技术的应用领域
1.5.1真空在输运、吸引、起吊及真空造型等设备中的应用1.5.2真空在电真空器件中的应用1.5.3真空在冶金工业中的应用1.5.4真空在镀膜工业中的应用1.5.5真空在食品包装及冷冻干燥工业中的应用1.5.6真空在航天工业中的应用1.5.7真空在加速器及受控核聚变中的应用1.5.8真空在表面科学研究中的应用2 稀薄气体分子运动理论
2.1 气体在平衡状态下的物理特性
2.1.1理想气体定律2.1.2气体分子的速率分布2.1.3气体分子平均碰撞频率和平均自由程2.1.4 气体分子与壁面的碰撞及漫反射2.2 气体的迁移过程
2.2.1气体中的迁移现象2.2.2 低压下气体的迁移2.3 蒸发和凝结
2.3.1蒸气及蒸气压2.3.2 蒸发率和凝结率3 吸附与脱附
3.1 吸附现象及吸附机理
3.1.1吸附现象3.1.2吸附机理3.2 吸附和脱附过程的描述
3.2.1吸附速率3.2.2脱附速率3.2.3 吸附等温线3.3 溶解和渗透
3.3.1气体在固体中的溶解3.3.2气体在固体中的扩散和渗透4 真空中的电现象
4.1电子发射
4.1.1电子发射基础4.1.2热电子发射4.1.3 场致发射4.1.4光电子发射4.1.5二次电子发射4.2 气体放电
4.2.1气体放电中的粒子碰撞4.2.2气体放电实验与特性4.2.3汤生放电4.2.4 破裂电压与帕邢定律4.2.5辉光放电4.2.6弧光放电4.2.7 高频放电4.2.8 潘宁放电5 真空中的气体流动5.1 气体流动状态及其判别
5.1.1稀薄气体的流动状态5.1.2 流动状态的判别5.2 气体的流量和管道流导
5.2.1气体的流量5.2.2 管道的流导5.2.3管路元件串联、并联的流导计算5.3 简单管道的流导计算
5.3.1黏滞流时管道的流导计算5.3.2 分子流时管道的流导计算5.3.3 黏滞-分子流时管道的流导计算6 真空泵的分类和性能
6.1 真空泵的分类
6.1.1气体传输泵6.1.2 气体捕集泵6.2 真空泵性能的表示法
6.3 真空泵的用途及使用范围
6.3.1真空泵的用途6.3.2各种真空泵的使用范围6.4 真空泵的型号及规格表示法
7 容积式真空泵
7.1 液环真空泵
7.1.1液环泵的工作原理及特点7.1.2液环泵的基本类型与结构7.1.3液环泵的使用与注意事项7.2 往复式真空泵
7.2.1概述7.2.2 往复泵的结构和工作原理7.2.3 往复泵的主要性能参数7.2.4 往复泵设计中的几个问题7.3 油封机械泵
7.3.1 旋片式油封真空泵7.3.2滑阀式油封机械泵7.4 罗茨真空泵
7.4.1概述7.4.2罗茨泵的工作原理及其结构特点7.4.3罗茨泵主要参数的确定7.4.4 罗茨泵的转子型线7.4.5罗茨泵主要尺寸的确定7.4.6多级罗茨真空泵7.5 干式真空泵
7.5.1 爪式真空泵7.5.2 涡旋式真空泵8 动量传递式真空泵
8.1 分子真空泵
8.1.1概述8.1.2牵引分子泵的抽气原理与结构特点8.1.3多槽螺旋式牵引分子泵的设计原理8.1.4涡轮分子泵的抽气原理及结构特点8.1.5 涡轮分子泵抽气性能的计算8.2 喷射真空泵
8.2.1 概述8.2.2水喷射泵8.2.3 水蒸气喷射泵8.3 油扩散泵
8.3.1 工作原理8.3.2 扩散泵的结构8.3.3 扩散泵的性能8.3.4扩散泵返油及减少返油的措施8.3.5 超高真空扩散泵8.4 油扩散喷射真空泵
8.4.1工作原理和结构特点8.4.2 抽气特性8.4.3泵油及减少返油的措施9 气体捕集式真空泵
9.1 低温泵
9.1.1 概述9.1.2 低温抽气原理9.1.3 低温冷凝抽气的基本方程9.1.4 低温吸附抽气9.1.5 低温捕集抽气过程9.1.6 低温泵分类及基本结构9.1.7 低温泵的极限压力9.1.8 低温泵的抽速9.1.9 低温泵的其他参数9.2 溅射离子泵
9.2.1 概述9.2.2 溅射离子泵基本结构和工作原理9.2.3离子泵抽气过程中的Ar不稳定性9.2.4 泵的工作特性9.2.5溅射离子泵的使用维护9.3 分子筛吸附泵
9.3.1分子筛的结构9.3.2 分子筛的抽气原理9.3.3 分子筛吸附泵的结构形式9.3.4 低温吸附泵的特性9.4 钛升华泵
9.4.1 概述9.4.2 泵的工作原理与抽气性能9.4.3 钛升华器的结构9.5 电离升华泵
9.5.1电离升华泵的工作原理9.5.2电离器的结构9.6 锆铝合金吸气泵
9.6.1锆铝吸气泵的结构及其抽气原理9.6.2 锆铝吸气泵的工作条件9.6.3锆铝吸气泵的主要结构尺寸10 真空测量
10.1 概述
10.1.1真空测量的研究对象10.1.2真空度量值的单位10.1.3 真空计的分类及测量范围10.1.4真空测量的特点及真空计的选用原则10.2 液位式真空计
10.2.1开式U形管真空计的测量原理10.2.2闭式U形管真空计的测量原理10.3 压缩式真空计
10.3.1压缩式真空计的结构与原理10.3.2 压缩式真空计的测量刻度方法及灵敏度10.3.3 压缩式真空计的常用形式10.4 弹性变形真空计
10.4.1机械传动式弹性变形真空计10.4.2电容式薄膜真空计10.5 热传导真空计
10.5.1热传导真空计的工作原理、测量范围及特点10.5.2电阻真空计10.5.3 热偶真空计10.6 电离真空计