气体放电中带电粒子运动的基本形式--热运动

     

气体放电中带电粒子运动的基本形式--热运动

青岛法兰克(Frank)微电子有限公司

合同能源管理机制推进事业部

高频光源事业部

高频光源设计工程师  韩俭荣

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一、概述

气体放电中的带电粒子的基本运动共分三大类,即:热运动、迁移运动和扩散运动。扩散运动中,又包含自由扩散运动和双极性扩散运动两种运动形式。带电粒子的热运动和扩散运动中的自由扩散运动,属无电场空间里的运动。迁移运动和扩散运动中的双极性扩散运动,属有电场空间里的运动。

二、带电粒子在无电场空间里的热运动特性分析

带电粒子在无电场空间里的热运动,属于粒子的自然运动。其基本特性,xx可以用中性粒子热运动的特性参量来描述。

1带电粒子在无电场空间里的热运动,它们之间或者在与其它粒子之间,发生着频繁的弹性碰撞。碰撞粒子之间充分地交换着能量。带电粒子通过碰撞将能量交换给其它粒子,或将能量输送到某个微观领域中。

2带电粒子在无电场空间里的热运动,是无规则的,无固定方向的杂乱无章的自由运动。带电粒子每次碰撞之间的自由程,变化是非常大的。自由程表征的物理含义是:粒子在{dy}次碰撞之后,到发生第二次碰撞之间运动的路程。

3带电粒子的热运动,是在某一空间里进行着的。对其宏观特性的把握,不是通过自由程这个特征参量,而是通过平均自由程来描述的。平均自由程表征的物理含义是:空间里的带电粒子热运动的宏观碰撞的几率。平均自由程的大小,表明带电粒子碰撞频繁程度的高低。

4热运动平均自由程是粒子碰撞自由程的分布函数。自由程的分布函数,是一条按指数式下降的分布曲线。通过自由程的分布函数,可以看出粒子碰撞自由程和热运动平均自由程相互之间的关系。粒子碰撞自由程的变化,必会引起热运动平均自由程的变化。

5通过自由程的分布函数,还可以看出具有不同自由程的带电粒子的比例关系。有实验表明:通常情况下,自由程大于一个平均自由程的带电粒子的数目,约在三分之一左右。自由程大于三个平均自由程的带电粒子的数目,是非常少的。

6带电粒子热运动的宏观特性,决定于带电粒子的平均自由程。在带电粒子碰撞截面一定的前提下,如果热运动平均自由程小,表征带电粒子密度高、弹性碰撞频繁,带电粒子热运动速度就会小。

7如果能改变带电粒子的自由程,或者是改变具有不同自由程的带电粒子的数量比例。就可以控制带电粒子热运动的速度。

8带电粒子在无电场空间里的热运动,发生着频繁的弹性碰撞和充分地交换着能量。因此,带电粒子的温度与中性粒子的温度,在运动中趋于一致,最终达到相同。(青岛法兰克微电子韩俭荣撰写的专题文章。有人将文章删掉作者的单位名称和作者的名字。而后,或者整篇或者大篇幅的,直接应用于自己的网站上。希望以后不要这样。)

9带电粒子在无电场空间里的热运动,其运动速度是温度和质量的函数。

在温度相同的条件下,带电粒子和中性粒子都具有相同的平均动能。带电粒子的运动速度与其质量成反比,质量越小,运动速度越大。例如:电子的运动速度是汞原子的600倍。正、负离子的质量与原子的质量差不多,因此,正、负离子的运动速度与原子的运动速度基本相同。

在质量相同的条件下,赋予给带电粒子的的温度越高,运动速度越大。

10在无电场空间的热运动中,在带电粒子质量一定的条件下,如果能控制热运动的温度,就可以控制带电粒子的运动速度。在热运动温度一定的前提下,如果能控制带电粒子质量,亦可以控制带电粒子的运动速度。

11热运动是带电粒子其它形式的基本运动的基础运动。譬如:带电粒子的迁移运动,就是叠加在热运动之上,在电场作用作用下的有方向的定向运动。

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