美国DARPA（Defense Advanced Research Project Agency，国防{jd0}研究项目机构）正在实行一种旨在运用MEMS技能将这种小规模发机电预设成手掌巨细、名为“Palm Power（掌上电源）”的研究项目2010年04月15日

　　本文是由***东北大学传授江刺正喜撰稿的连载第6回作为基於MEMS技能的开发实例，本文将向读者介绍MEMS在电源领域的应用实例（三宅 常之，《日经微器件》）

　　在电源方面，目前天产汽车正在开发一种假座汽车涡轮增压机技能（非MEMS技能）的可携式型燃气轮发机电可能用於士兵配备的资讯终端电源在微型燃气轮发机电方面，运用矽质料的研究正由美国麻省理工学院（MIT）加紧实行现已证实，利用矽的深度RIE加工技能出产，通过对于大气的压力驱动的涡轮举行小规模化预设，可以容或实现130万转/分钟的高速转动 除此以外，***东北大学正在开发一种施用SiC的微型燃气轮发机电转子叶片（图13）要想使之到达实用化，必需施用高耐热性子料，因此就施用可将由RIE要领加工的矽制成模具的反映加热使黏结工艺，制作出了高耐热性SiC的微布局物体

　　汽油干电池必不成少的技能

　　和发机电一样重要的是干电池目前业界正在加紧研制汽油盒式小规模汽油干电池它是固体高份子型汽油干电池的小规模化，很多产物直接施用甲醇

　　但从效率上来说，氢气更合适於固体高份子汽油干电池，因此在利用微加工技能出产的微型反映器（小规模汽油改质器）中边生成边施用的氢气生成技能，和贮氢技能的开发正在举行之中为了对于被业界寄与厚望的贮氢技能——碳奈米管的贮氢性能举行优化，***东北大学施用装在矽的振动子上的碳奈米管，对于其贮氢量举行了测定（图14）现已确认可以容或贮藏其自己重量6％的氢气在该研究事例中，矽悬壁的厚度仅170nm，Q系数则高达25万，因此可以容或很是灵敏地将吸附氢气的微小重量变化作为共振频率的变化检测出来（未完待续特约撰稿人：江刺 正喜）

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