红丛佳:有人知道激光干涉仪的工作原理吗« 机床网

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例如雷尼绍的,他们工作原理以及测量的方法,{zh0}详细点,我最近在作这方面的了解,谢谢了!

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ml10激光干涉仪雷尼绍ml10激光干涉仪为机床检定提供了一种高精度仪器,它精度高,达到±1。1ppm(在0~40℃下),测量范围大(线性测长40m,任选80m),测量速度快(60m/min),分辨率高(0。001μm),便携性好。由于雷尼绍激光干涉仪具有自动线性误差补偿功能,可方便恢复机床精度,更受到用户欢迎!为使大家进一步了解ml10激光干涉仪在检测数控机床精度方面所具有的独特优点,下面着重介绍ml10激光干涉仪在精度检测中的应用。(1)几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。(2)位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。利用雷尼绍ml10激光干涉仪不仅能自动测量机器的误差,而且还能通过rs232接口自动对其线性误差进行补偿,比通常的补偿方法节省了大量时间,并且避免了手工计算和手动数控键入而引起的操作者误差,同时可{zd0}限度地选用被测轴上的补偿点数,使机床达到{zj0}精度,另外操作者无需具有机床参数及补偿方法的知识。目前,可供选择的补偿软件有fanuc,siemens800系列,unm,mazak,mitsubishi,cincinnatiacramatic,heidenhain,bosch,allen-bradley。(3)数控转台分度精度的检测及其自动补偿现在,利用ml10激光干涉仪加上rx10转台基准还能进行回转轴的自动测量。它可对任意角度位置,以任意角度间隔进行全自动测量,其精度达±1。新的国际标准已推荐使用该项新技术。它比传统用自准直仪和多面体的方法不仅节约了大量的测量时间,而且还得到完整的回转轴精度曲线,知晓其精度的每一细节,并给出按相关标准处理的统计结果。(4)双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床,由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度,而且还能通过rs232接口,自动对两轴线性误差分别进行补偿。(5)数控机床动态性能检测利用renishaw动态特性测量与评估软件,可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(fft),滚珠丝杠的动态特性分析,伺服驱动系统的响应特性分析,导轨的动态特性(低速爬行)分析等。

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